W. Moeller

集束イオンビームフライス加工によるシリコン中のGa汚染:動的モデルシミュレーションと原子プローブトモグラフィー実験【Powered by NICT】

Ehrenfried Zschech, Jin Huang, M. Loeffler, 2016 .

Ga contamination in silicon by Focused Ion Beam milling: Dynamic model simulation and Atom Probe Tomography experiment

Jin Huang, Ehrenfried Zschech, M. Loeffler, 2016, Microelectron. Reliab..