L. Zschiedrich
发表
S. Burger,
L. Zschiedrich,
J. Pomplun,
2013,
Photonics West - Optoelectronic Materials and Devices.
S. Burger,
L. Zschiedrich,
J. Pomplun,
2011,
OPTO.
S. Burger,
L. Zschiedrich,
J. Pomplun,
2011,
Optical Metrology.
A. Erdmann,
S. Burger,
L. Zschiedrich,
2008,
Photomask Technology.
S. Burger,
L. Zschiedrich,
F. Schmidt,
2006,
SPIE OPTO.
L. Zschiedrich,
F. Schmidt,
L. Zschiedrich,
2008,
Photomask Japan.
S. Burger,
L. Zschiedrich,
J. Pomplun,
2013,
Advanced Lithography.
S. Burger,
L. Zschiedrich,
F. Schmidt,
2013,
Photonics West - Optoelectronic Materials and Devices.
L. Zschiedrich,
J. Pomplun,
S. Herrmann,
2015,
SPIE Optical Systems Design.
S. Burger,
L. Zschiedrich,
J. Pomplun,
2016,
SPIE Advanced Lithography.
S. Burger,
L. Zschiedrich,
J. Pomplun,
2010,
OPTO.
L. Zschiedrich,
Thorsten Hohage,
W. Koch,
2005
.
S. Burger,
L. Zschiedrich,
F. Schmidt,
2009,
Microtechnologies.
S. Burger,
L. Zschiedrich,
J. Pomplun,
2009,
Photomask Technology.
S. Burger,
L. Zschiedrich,
F. Schmidt,
2005,
SPIE OPTO.
L. Zschiedrich,
J. Pomplun,
F. Schmidt,
2011,
Photomask Technology.
S. Burger,
L. Zschiedrich,
F. Schmidt,
2010,
OPTO.
S. Burger,
L. Zschiedrich,
J. Pomplun,
2010,
Photomask Technology.
S. Burger,
L. Zschiedrich,
J. Pomplun,
2007,
SPIE OPTO.
L. Zschiedrich,
J. Pomplun,
F. Schmidt,
2015,
Advanced Lithography.
S. Burger,
L. Zschiedrich,
F. Schmidt,
2005,
SPIE OPTO.
S. Burger,
L. Zschiedrich,
J. Pomplun,
2006,
SPIE Photomask Technology.
G. Erbert,
S. Burger,
L. Zschiedrich,
2011,
2011 Numerical Simulation of Optoelectronic Devices.