西藤 哲史

SOI基板上のNi-FUSI/HfSiON MOSFETにおけるしきい値電圧制御( IEDM(先端CMOSデバイス・プロセス技術))

高橋 健介, 渡辺 啓仁, 渡部 宏治, 2007 .

Poly-Si/HfSiO/SiO_2ゲート構造を用いた低電力、高速HfSiOゲートCMOSFET( IEDM特集:先端CMOSデバイス・プロセス技術)

最上 徹, 森岡 あゆ香, 望月 康則, 2004 .