矢部 裕子

Poly-Si/HfSiO/SiO_2ゲート構造を用いた低電力、高速HfSiOゲートCMOSFET( IEDM特集:先端CMOSデバイス・プロセス技術)

最上 徹, 森岡 あゆ香, 望月 康則, 2004 .