多恵子 五十嵐

Poly-Si/HfSiO/SiO_2ゲート構造を用いた低電力、高速HfSiOゲートCMOSFET( IEDM特集:先端CMOSデバイス・プロセス技術)

最上 徹, 森岡 あゆ香, 望月 康則, 2004 .

組成制御Niフルシリサイド電極を用いた低消費電力向けHfSiONゲート絶縁膜MOSFET(IEDM特集(先端CMOSデバイス・プロセス技術))

望月 康則, 高橋 健介, 辰巳 徹, 2005 .