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増崎 幸治
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Poly-Si/HfSiO/SiO_2ゲート構造を用いた低電力、高速HfSiOゲートCMOSFET( IEDM特集:先端CMOSデバイス・プロセス技術)
最上 徹, 森岡 あゆ香, 望月 康則, 2004 .