Konradin Kaiser

Modular aufgebaute 'process-unit' - neues Anlagenkonzept für Ätzprozesse und die Wafergalvanoformung.

Markus Guttmann, Lutz Hofmann, S. Muth, 2009 .

Neues modulares Anlagenkonzept für nasschemische Ätzprozesse und die Wafergalvanoformung.

Lutz Hofmann, Konradin Kaiser, Hans Moritz, 2009 .