文
论文分享
演练场
杂货铺
论文推荐
字
编辑器下载
登录
注册
James A. Folta
发表
Multilayer optics for an extreme-ultraviolet lithography tool with 70-nm resolution
Regina Soufli, Stanley Mrowka, Claude Montcalm, 2001, SPIE Advanced Lithography.