R. Gottscho
发表
E. Aydil,
J. Gregus,
R. Gottscho,
1993
.
Joseph B. Kruskal,
Richard A. Gottscho,
A. Kornblit,
1993
.
R. Gottscho,
M. Lieberman,
1994
.
R. Gottscho,
V. Vahedi,
T. Lill,
2019
.
C. W. Jurgensen,
R. Gottscho,
C. Jurgensen,
1992
.
R. Gottscho,
S. Sriraman,
V. Vahedi,
2015
.
R. Wise,
R. Gottscho,
Wenbing Yang,
2017
.
Richard A. Gottscho,
Vahid Vahedi,
R. Gottscho,
2002
.
Terry A. Miller,
Richard A. Gottscho,
R. Gottscho,
1984
.
Willy C. Shih,
R. Gottscho,
J. Rabaey,
2022,
ArXiv.
T. C. Lee,
R. Gottscho,
J. Margot,
1993
.
R. H. Burton,
R. Gottscho,
G. Davis,
1983
.
R. Gottscho,
A. D. Bailey,
1995
.
R. Gottscho,
S. Wagner,
S. Sherman,
1995
.
R. H. Burton,
R. Gottscho,
G. Smolinsky,
1982
.
Andreas Fischer,
Richard A. Gottscho,
Yang Pan,
2017,
Advanced Lithography.
R. Gottscho,
V. Vahedi,
T. Lill,
2018,
2018 IEEE 2nd Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM).
R. Gottscho,
K. J. Kanarik,
Samantha Tan,
2018,
The journal of physical chemistry letters.
R. Gottscho,
G. Davis,
1983
.
R. Gottscho,
R. Field,
J. Koffend,
1980
.
R. Gottscho,
1979
.
R. Gottscho,
K. Nojiri,
J. LaCara,
2008
.
E. Aydil,
J. Gregus,
R. Gottscho,
1993
.
R. H. Burton,
R. Gottscho,
G. Smolinsky,
1984
.
R. Gottscho,
G. Smolinsky,
S. M. Abys,
1983
.
J. Kruskal,
R. Gottscho,
A. Kornblit,
1991
.
Correlation between the valence‐ and conduction‐band‐tail energies in hydrogenated amorphous silicon
R. Gottscho,
S. Wagner,
S. Sherman,
1996
.
V. M. Donnelly,
R. H. Burton,
R. Gottscho,
1984
.
V. M. Donnelly,
R. H. Burton,
R. Gottscho,
1983
.
R. Gottscho,
R. Boswell,
N. Sadeghi,
1992
.
R. Gottscho,
V. Vahedi,
T. Lill,
2016
.
R. Gottscho,
R. Field,
S. Silvers,
1981
.
R. Gottscho,
S. Downey,
A. Mitchell,
1988
.
R. Gottscho,
S. Downey,
A. Mitchell,
1988
.
Scaling of Si and GaAs trench etch rates with aspect ratio, feature width, and substrate temperature
J. Gregus,
R. Gottscho,
M. V. D. Sanden,
1995
.
V. M. Donnelly,
R. Gottscho,
H. Luftman,
1992
.
R. Gottscho,
H. Hayashi,
N. Marchack,
2019,
Japanese Journal of Applied Physics.
R. Gottscho,
T. Miller,
A. Cappelli,
1985
.
R. Gottscho,
R. Field,
R. Marks,
1982
.
V. M. Donnelly,
E. Aydil,
R. Gottscho,
1993
.
R. Gottscho,
1984
.
Vincent M. Donnelly,
V. M. Donnelly,
Richard A. Gottscho,
1984
.
R. Gottscho,
C. Moore,
G. Davis,
1984
.
R. Gottscho,
R. Field,
W. Benesch,
1979
.
R. F. Barrow,
R. Gottscho,
R. Field,
1982
.
S. G. Tilford,
R. Gottscho,
R. Field,
1978
.
R. Gottscho,
P. Weiss,
R. Field,
1980
.
R. Gottscho,
R. Field,
J. Lombardi,
1978
.
R. Gottscho,
T. Intrator,
D. Graves,
1988
.
E. Aydil,
R. Gottscho,
Y. Chabal,
1994
.
E. Aydil,
R. Gottscho,
Y. Chabal,
1993
.
Richard A. Gottscho,
Eray S. Aydil,
Yves J. Chabal,
1994
.
R. Gottscho,
C. Charles,
R. Boswell,
2013
.
R. H. Burton,
R. Gottscho,
G. Davis,
1983
.
R. Gottscho,
D. Pritchard,
R. Ahmad-Bitar,
1981
.
R. Gottscho,
R. Field,
R. Bacis,
1980
.
R. Gottscho,
R. Field,
1978
.
R. Gottscho,
R. Field,
R. Marks,
1982
.
R. Gottscho,
1981
.
R. Gottscho,
R. Field,
R. Marks,
1982
.
R. Gottscho,
C. Gaebe,
1986,
IEEE Transactions on Plasma Science.
R. Gottscho,
C. Gaebe,
1986
.
R. Gottscho,
T. Miller,
B. Preppernau,
1989
.
R. Gottscho,
R. Field,
E. Miescher,
1975
.
Richard A. Gottscho,
Toshiki Nakano,
Nader Sadeghi,
1991
.
R. Gottscho,
P. Moskowitz,
D. Pritchard,
1980
.
R. H. Burton,
R. Gottscho,
G. Davis,
1982
.
David B. Graves,
Mark A. Sobolewski,
James K. Olthoff,
1994
.
M. L. Mandich,
R. Gottscho,
C. Gaebe,
1985
.
G. S. Mathad,
R. Gottscho,
G. Schwartz,
1990
.
R. Gottscho,
T. Intrator,
D. Graves,
1988
.
R. Gottscho,
C. Moore,
G. Davis,
1984
.
R. Gottscho,
T. Intrator,
D. Stoneback,
1989
.
J. Gregus,
R. Gottscho,
R. Opila,
1993
.
R. Gottscho,
K. Giapis,
W. Hobson,
1990
.
Stephen J. Pearton,
Richard A. Gottscho,
R. Gottscho,
1990
.
R. Gottscho,
B. Weir,
D. Eaglesham,
1992
.
R. Gottscho,
L. DiMauro,
T. Miller,
1984
.
R. Gottscho,
1987,
Topical Meeting on Lasers in Materials Diagnostics.
R. Gottscho,
P. Foo,
N. Sadeghi,
1990
.
M. L. Mandich,
R. Gottscho,
1985
.
T. C. Lee,
R. Gottscho,
N. Sadeghi,
1993
.
R. Gottscho,
R. Field,
H. Lefebvre-Brion,
1978
.
R. Gottscho,
S. Pearton,
K. Giapis,
1990
.
R. Gottscho,
S. Pearton,
T. Nakano,
1991
.
E. Aydil,
J. Gregus,
R. Gottscho,
1998
.
R. Gottscho,
1993
.
R. Gottscho,
I. Berry,
V. Vahedi,
2018
.
R. Gottscho,
Wenbing Yang,
V. Vahedi,
2015
.
E. Aydil,
J. Gregus,
R. Gottscho,
1993
.
Richard A. Gottscho,
Toshiki Nakano,
Nader Sadeghi,
1991
.
R. Gottscho,
M. E. Barone,
J. Cook,
1996
.
Richard A. Gottscho,
Michael A. Lieberman,
R. Gottscho,
1993
.
R. Gottscho,
Wenbing Yang,
I. Berry,
2021
.
Richard A. Gottscho,
Eray S. Aydil,
E. Aydil,
1993
.
J. Gregus,
R. Gottscho,
M. V. D. Sanden,
1997
.
R. Gottscho,
2011
.
Richard A. Gottscho,
Keren J. Kanarik,
R. Gottscho,
2014
.
R. Gottscho,
T. Intrator,
D. Graves,
1988
.
R. Gottscho,
A. Mitchell,
1990
.
R. Gottscho,
M. Kamon,
K. J. Kanarik,
2023,
Nature.
Richard A. Gottscho,
Jeffrey Marks,
Yoshie Kimura,
2015,
Advanced Lithography.
R. Gottscho,
H. Lefebvre-Brion,
J. Robbe,
1981
.
R. H. Burton,
R. Gottscho,
L. Marchut,
1983
.
David M. Haaland,
John R. McNeil,
Richard A. Gottscho,
1994
.
R. Gottscho,
K. J. Kanarik,
Samantha Tan,
2018,
The journal of physical chemistry letters.
R. Gottscho,
M. Sekine,
M. Kushner,
2024,
Journal of Vacuum Science & Technology B.
Real-Time Monitoring of Silicon Nitride Composition During Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
R. Gottscho,
A. D. Bailey,
1995
.