R. Legtenberg
发表
H. Tilmans,
R. Legtenberg,
1994
.
H. Tilmans,
R. Legtenberg,
1994
.
Miko Elwenspoek,
Henri V. Jansen,
de M.J. Boer,
1995
.
Miko Elwenspoek,
Henri V. Jansen,
Meint J. de Boer,
1995
.
J. Fluitman,
M. Elwenspoek,
R. Legtenberg,
1995,
Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems. 1995.
Miko Elwenspoek,
Rob Legtenberg,
Chengqun Gui,
1998
.
R. Legtenberg,
H. Jansen,
M. Elwenspoek,
1996
.
R. Legtenberg,
1996
.
S. Senturia,
J. Gilbert,
R. Legtenberg,
1995,
Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems. 1995.
J. Fluitman,
M. Elwenspoek,
R. Legtenberg,
1995
.
R. Legtenberg,
M. Etwenspock,
M. Weustink,
1995,
Proceedings of the International Solid-State Sensors and Actuators Conference - TRANSDUCERS '95.
H. Tilmans,
R. Legtenberg,
1993
.
H. Tilmans,
R. Legtenberg,
M. Elwenspoek,
1994
.
Michael Curt Elwenspoek,
Rob Legtenberg,
M. Elwenspoek,
1996
.
Rob Legtenberg,
S. Bouwstra,
R. Legtenberg,
1989
.
Miko Elwenspoek,
J.J.J. van Baar,
Rob Legtenberg,
1998
.
Miko Elwenspoek,
J.J.J. van Baar,
Rob Legtenberg,
1998
.
R. Legtenberg,
M. Elwenspoek,
N. Tas,
1997
.
Michael Curt Elwenspoek,
Meint J. de Boer,
Rob Legtenberg,
1995
.
Jan H. J. Fluitman,
Michael Curt Elwenspoek,
Rob Legtenberg,
1996,
Proceedings of Ninth International Workshop on Micro Electromechanical Systems.
M. Elwenspoek,
R. Legtenberg,
A. Groeneveld,
1996
.
R. Legtenberg,
M. Elwenspoek,
R. Legtenberg,
1995
.
R. Legtenberg,
M. Elwenspoek,
E. Berenschot,
1995,
Proceedings of the International Solid-State Sensors and Actuators Conference - TRANSDUCERS '95.
G. A. Schuerink,
W. Wits,
R. Legtenberg,
2018,
Journal of Materials Science: Materials in Electronics.
Miko Elwenspoek,
Rob Legtenberg,
R. Legtenberg,
2005
.
Miko Elwenspoek,
Harrie A.C. Tilmans,
Rob Legtenberg,
1990
.
J. Fluitman,
R. Legtenberg,
M. Elwenspoek,
1995
.
Jan H. J. Fluitman,
Miko Elwenspoek,
Rob Legtenberg,
1997
.
Jan H. J. Fluitman,
Michael Curt Elwenspoek,
Johan W. Berenschot,
1995
.