S. Gendt
发表
M. Caymax,
B. Beckhoff,
S. Sioncke,
2011
.
Denis Flandre,
Tamara Rudenko,
Nadine Collaert,
2005
.
T. Schram,
A. Franquet,
A. Stesmans,
2008
.
K. Sankaran,
R. Degraeve,
G. Pourtois,
2012
.
A. Stesmans,
M. Heyns,
B. Cho,
2013
.
M. Heyns,
G. Groeseneken,
A. Peaker,
2008
.
R. Rooyackers,
M. Heyns,
G. Groeseneken,
2010
.
L. Goux,
K. Sankaran,
R. Degraeve,
2014
.
C. Merckling,
M. Heyns,
S. Gendt,
2020,
2010.04657.
A. Stesmans,
M. Aoulaiche,
M. Heyns,
2005
.
O. Richard,
H. Bender,
C. Adelmann,
2008
.
C. Adelmann,
T. Conard,
S. Gendt,
2007
.
M. Caymax,
S. Mantl,
J. Schubert,
2006
.
Invited) Graphene Synthesis and Transfer Improvements for Applications in the Semiconductor Industry
Cedric Huyghebaert,
Stefan De Gendt,
Bart Vermeulen,
2017
.
K. Wostyn,
S. Gendt,
P. Mertens,
2012
.
Cedric Huyghebaert,
Stefan De Gendt,
Marc Heyns,
2016
.
Xiumei Xu,
H. Terryn,
S. Gendt,
2020,
The journal of physical chemistry letters.
Paul Zimmerman,
Tom Schram,
Stefan De Gendt,
2005
.
Aaron Thean,
Nadine Collaert,
Laura Nyns,
2013
.
Laura Nyns,
Herbert Struyf,
Guy Brammertz,
2011
.
H. Bender,
F. Iacopi,
R. Loo,
2009
.
Rita Rooyackers,
Anne Vandooren,
Guido Groeseneken,
2011
.
Aaron Thean,
Jacopo Franco,
Stefan De Gendt,
2014
.
J. Swerts,
A. Delabie,
L. Nyns,
2010
.
I. Radu,
M. Heyns,
B. Sorée,
2017
.
I. Radu,
M. Heyns,
B. Sorée,
2016
.
Iuliana Radu,
Cedric Huyghebaert,
Stefan De Gendt,
2014
.
Iuliana Radu,
Stefan De Gendt,
Philippe M. Vereecken,
2013
.
Iuliana Radu,
Cedric Huyghebaert,
Stefan De Gendt,
2018
.
Stefan Kubicek,
T. Chiarella,
Matty Caymax,
2004
.
I. Radu,
M. Heyns,
C. Huyghebaert,
2016
.
S. Gendt,
M. Baklanov,
M. Krishtab,
2017
.
A. Stesmans,
S. Gendt,
V. Afanas'ev,
2017
.
K. Vanstreels,
S. Gendt,
M. Baklanov,
2015
.
M. Heyns,
J. D’Haen,
S. Gendt,
2008
.
Wim Deweerd,
Tom Schram,
Gabriela Catana,
2004
.
Stefan De Gendt,
Marc Hauptmann,
Herbert Struyf,
2012,
CAV 2012.
K. Wostyn,
Xiumei Xu,
S. Gendt,
2014
.
K. Wostyn,
S. Gendt,
S. Brems,
2014
.
Liping Zhang,
S. Gendt,
P. Lefaucheux,
2018,
Scientific Reports.
K. Vanstreels,
D. Shamiryan,
S. Gendt,
2011
.
D. Shamiryan,
S. Gendt,
M. Baklanov,
2008
.
S. Gendt,
R. Grieken,
W. Harrison,
1995
.
O. Richard,
C. Adelmann,
A. Franquet,
2008
.
H. Struyf,
S. Gendt,
G. Vereecke,
2012
.
Martin L. Green,
O. Richard,
H. Bender,
2005
.
M. Heyns,
H. Nohira,
T. Conard,
2002
.
S. Gendt,
C. Vinckier,
P. Mertens,
2006
.
S. Gendt,
C. Vinckier,
W. Fyen,
2004
.
T. Bearda,
S. Gendt,
C. Vinckier,
2003
.
M. Heyns,
S. Gendt,
P. Mertens,
1997
.
M. Caymax,
M. Heyns,
T. Conard,
2006
.
Z. Tokei,
S. Gendt,
P. Vereecken,
2014
.
Denis Shamiryan,
S. De Gendt,
Kris Vanstreels,
2010
.
Christopher J. Wilson,
N. Heylen,
Liping Zhang,
2016
.
K. Croes,
N. Heylen,
Liping Zhang,
2016
.
Liping Zhang,
S. Gendt,
S. De Gendt,
2016
.
Liping Zhang,
S. Gendt,
M. Baklanov,
2015
.
N. Heylen,
Liping Zhang,
Z. Tokei,
2015
.
Liping Zhang,
S. Gendt,
M. Baklanov,
2014
.
Liping Zhang,
S. Gendt,
P. Lefaucheux,
2013
.
Y. Travaly,
K. Vanstreels,
D. Shamiryan,
2008
.
Marc Heyns,
Matty Caymax,
S. De Gendt,
2006
.
M. Caymax,
M. Heyns,
T. Conard,
2004
.
T. Schram,
B. O’Sullivan,
A. Stesmans,
2006
.
B. Kaczer,
M. Aoulaiche,
G. Groeseneken,
2009
.
G. Pourtois,
A. Delabie,
L. Nyns,
2008
.
C. Glorieux,
H. Struyf,
S. Gendt,
2014
.
M. Heyns,
S. Gendt,
M Hauptmann,
2012
.
M. Heyns,
Xiumei Xu,
H. Struyf,
2010
.
M. Heyns,
T. Bearda,
R. Vos,
1999
.
M. Heyns,
T. Witters,
T. Conard,
2002
.
S. Gendt,
S. Armini,
M. Pasquali,
2021
.
I. Radu,
M. Caymax,
T. Conard,
2018
.
G. Beyer,
M. Heyns,
C. Huyghebaert,
2013
.
J. Kittl,
C. Adelmann,
M. Heyns,
2010
.
O. Richard,
C. Adelmann,
A. Franquet,
2007
.
Denis Shamiryan,
Stefan De Gendt,
Kris Vanstreels,
2009
.
Xiumei Xu,
K. Nafus,
H. Struyf,
2014
.
A. Franquet,
S. Gendt,
S. Armini,
2020,
Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids.
Christoph Adelmann,
Stefan De Gendt,
Larry Zhao,
2015
.
M. Mackenzie,
S. Gendt,
D. McComb,
2006
.
B. T. Chan,
T. Conard,
S. Gendt,
2016
.
M. Heyns,
F. Smedt,
S. Gendt,
2001
.
C. Adelmann,
S. Gendt,
S. Elshocht,
2009
.
T. Schram,
O. Richard,
G. Pourtois,
2009
.
A. Zaka,
D. Shamiryan,
S. Gendt,
2010
.
G. Pourtois,
L. Ragnarsson,
M. Heyns,
2009
.
Iuliana Radu,
Stefan De Gendt,
Marc Heyns,
2013
.
Liping Zhang,
S. Gendt,
P. Lefaucheux,
2012
.
Luigi Pantisano,
Tom Schram,
Andre Stesmans,
2006
.
V. V. Afanasiev,
T. Schram,
A. Stesmans,
2007
.
Andre Stesmans,
S. De Gendt,
A. Stesmans,
2011
.
A. Stesmans,
M. Heyns,
J. Hofkens,
2012
.
H. Struyf,
S. Gendt,
P. Mertens,
2012
.
R. Degraeve,
G. Groeseneken,
J. Zhang,
2007
.
A. V. Pret,
S. Gendt,
P. D. Schepper,
2015
.
D. Hess,
M. Sekine,
S. Gendt,
2015
.
Naoto Horiguchi,
Liesbeth Witters,
Aaron Thean,
2015
.
A. Veloso,
M. Jurczak,
S. Kubicek,
2005
.
H. Bender,
K. Opsomer,
S. Clima,
2010
.
G. Groeseneken,
K. Pey,
S. Gendt,
2005
.
C. Adelmann,
A. Franquet,
B. Beckhoff,
2013
.
C. Huyghebaert,
S. Gendt,
P. Vereecken,
2013
.
M. Heyns,
M. Houssa,
S. Gendt,
1999
.
M. Heyns,
M. Houssa,
S. Gendt,
1999
.
D. Shamiryan,
S. Gendt,
P. D. Schepper,
2012
.
C. Adelmann,
A. Franquet,
M. Caymax,
2008
.
S. Gendt,
D. H. V. Dorp,
F. Holsteyns,
2014
.
S. Gendt,
P. Vereecken,
M. V. Veen,
2013
.
C. Adelmann,
T. Conard,
W. Vandervorst,
2016
.
S. Gendt,
D. H. V. Dorp,
F. Holsteyns,
2015
.
S. Gendt,
J. Kelly,
D. H. V. Dorp,
2014
.
S. Gendt,
A. Moussa,
D. H. V. Dorp,
2013
.
S. Gendt,
D. H. V. Dorp,
S. Arnauts,
2013
.
K. Maex,
M. Heyns,
S. Gendt,
2010
.
M. Heyns,
M. Meuris,
S. Gendt,
1998
.
Harold Dekkers,
S. De Gendt,
S. Van Elshocht,
2014
.
T. Schram,
B. O’Sullivan,
T. Witters,
2007,
ECS Transactions.
G. Pourtois,
S. Gendt,
A. Hardy,
2012
.
M. Caymax,
T. Witters,
S. Gendt,
2007
.
Christ Glorieux,
Herbert Struyf,
S. De Gendt,
2013
.
S. Gendt,
W. Hang,
R. Grieken,
1995
.
S. Gendt,
R. Grieken,
W. Schelles,
1995
.
C. Merckling,
M. Heyns,
S. Gendt,
2021
.
T. Conard,
S. Gendt,
D. Armour,
2010
.
C. Adelmann,
J. Berg,
T. Conard,
2013
.
M. Krumrey,
B. Beckhoff,
T. Conard,
2009
.
T. Schram,
C. Adelmann,
T. Conard,
2008
.
M. Heyns,
F. Smedt,
S. Gendt,
2000
.
M. Caymax,
S. Sioncke,
T. Conard,
2012
.
M. Heyns,
T. Conard,
A. Delabie,
2006
.
S. Gendt,
A. Abd-Elnaiem,
P. Vereecken,
2015
.
P. Poodt,
S. Gendt,
P. Vereecken,
2017
.
Martin L. Green,
I. Takeuchi,
J. Hattrick-Simpers,
2010
.
T. Schram,
H. Bender,
J. Kittl,
2009
.
T. Schram,
C. Adelmann,
A. Franquet,
2008
.
Electrical properties of high-κ gate dielectrics: Challenges, current issues, and possible solutions
Guido Groeseneken,
Luigi Pantisano,
Tom Schram,
2006
.
Stefan De Gendt,
Mehdi Balooch,
Wei-E Wang,
2008
.
V. Paraschiv,
D. Shamiryan,
S. Gendt,
2010
.
S. Gendt,
S. Armini,
Wei‐dong He,
2020
.
O. Richard,
K. Maex,
M. Heyns,
2009
.
T. Schram,
M. Houssa,
S. Gendt,
2009
.
T. Schram,
A. Stesmans,
K. Meyer,
2007
.
M. Heyns,
G. Groeseneken,
K. Kellens,
2009,
ECS Transactions.
G. Groeseneken,
S. Gendt,
P. Vereecken,
2010,
Nanotechnology.
S. Gendt,
C. Vinckier,
P. Mertens,
2004
.
C. Merckling,
M. Heyns,
M. Houssa,
2020,
2010.04103.
Cedric Huyghebaert,
Stefan De Gendt,
Steven Brems,
2018
.
M. Heyns,
T. Bearda,
R. Vos,
1998
.
S. Gendt,
R. Grieken,
W. Schelles,
1996,
Analytical and bioanalytical chemistry.
Iuliana Radu,
Malgorzata Jurczak,
Hugo Bender,
2012
.
G. Pourtois,
S. Clima,
D. Wouters,
2009
.
S. Gendt,
P. Vereecken,
D. Cott,
2015
.
M. Caymax,
T. Conard,
W. Vandervorst,
2002
.
O. Richard,
C. Adelmann,
A. Franquet,
2006
.
J. Kittl,
C. Adelmann,
M. Heyns,
2009
.
M. Caymax,
M. Heyns,
A. Delabie,
2008
.
L. Ragnarsson,
M. Heyns,
P. Zimmerman,
2008
.
G. Pourtois,
J. Swerts,
L. Ragnarsson,
2007
.
E. Sleeckx,
L. Ragnarsson,
M. Caymax,
2006
.
M. Heyns,
T. Conard,
A. Delabie,
2006
.
M. Caymax,
T. Conard,
M. Houssa,
2005
.
Wilfried Vandervorst,
Stefan De Gendt,
Marc Heyns,
2004
.
O. Richard,
H. Bender,
M. Caymax,
2002
.
G. Pourtois,
M. Heyns,
J. Hofkens,
2011
.
A. Franquet,
M. Caymax,
M. Heyns,
2011
.
O. Richard,
H. Bender,
M. Caymax,
2002
.
J. Vermant,
M. Heyns,
S. Gendt,
2014
.
C. Adelmann,
M. Caymax,
T. Conard,
2013
.
S. Gendt,
S. Halder,
Bappaditya Dey,
2023,
ArXiv.
K. Barla,
I. Radu,
M. Caymax,
2016
.
J. Swerts,
E. Tois,
A. Delabie,
2007
.
C. Adelmann,
A. Franquet,
J. Schubert,
2007
.
Martin L. Green,
J. Suehle,
I. Takeuchi,
2008
.
M. Mackenzie,
S. Gendt,
D. McComb,
2008
.
M. Mackenzie,
S. Gendt,
D. McComb,
2007
.
Guido Groeseneken,
D. Martin Knotter,
Tanya Nigam,
1999,
IBM J. Res. Dev..
Iuliana Radu,
Wilfried Vandervorst,
Stefan De Gendt,
2017
.
A. Stesmans,
B. Sorée,
F. Clemente,
2010
.
T. Schram,
J. Swerts,
T. Witters,
2006
.
Guido Groeseneken,
Jian Fu Zhang,
Bogdan Govoreanu,
2006
.
O. Richard,
H. Bender,
M. Heyns,
2012
.
Impact of Precursor Chemistry and Process Conditions on the Scalability of ALD HfO2 Gate Dielectrics
Stefan De Gendt,
Laura Nyns,
Annelies Delabie,
2010
.
S. Gendt,
C. Vinckier,
I. Teerlinck,
2005
.
T. Conard,
S. Gendt,
C. Vinckier,
2005
.
Stefan De Gendt,
Marc Heyns,
Zhen Xu,
2002
.
O. Richard,
H. Bender,
M. Heyns,
2012
.
E. A. Payzant,
M. Mackenzie,
S. Gendt,
2012
.
M. Mackenzie,
S. Gendt,
D. McComb,
2009
.
G. Pourtois,
J. Kittl,
A. Lauwers,
2005
.
M. Caymax,
M. Heyns,
A. Delabie,
2008
.
G. Pourtois,
S. Clima,
D. Wouters,
2009
.
O. Richard,
H. Bender,
C. Adelmann,
2007
.
I. Radu,
M. Heyns,
C. Huyghebaert,
2016
.
H. P. Urbach,
M. L. Monaghan,
T. Nigam,
2000
.
S. Gendt,
P. Lefaucheux,
R. Dussart,
2018,
Scientific Reports.
S. Gendt,
Changhai Wang,
S. Halder,
2023,
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing.
S. Gendt,
S. Armini,
M. Pasquali,
2019,
ECS Transactions.
M. Heyns,
G. Groeseneken,
Yunlong Li,
2011
.
O. Richard,
H. Bender,
M. Heyns,
2011
.
Luigi Pantisano,
Tom Schram,
A. Kerber,
2003
.
G. Pourtois,
S. Clima,
D. Wouters,
2009
.
H. Terryn,
C. Huyghebaert,
S. Gendt,
2016
.
G. Groeseneken,
A. Volodin,
S. Gendt,
2011
.
H. Bender,
I. Radu,
M. Caymax,
2016
.
I. Radu,
A. Stesmans,
C. Huyghebaert,
2015
.
E. A. Payzant,
M. Mackenzie,
S. Gendt,
2011
.
M. Heyns,
G. Groeseneken,
A. Peaker,
2008
.
C. Adelmann,
T. Conard,
S. Gendt,
2013
.
T. Schram,
G. Pourtois,
J. Kittl,
2007
.
T. Schram,
L. Ragnarsson,
M. Heyns,
2005
.
Denis Shamiryan,
Vasile Paraschiv,
W. Boullart,
2006
.
A. Sibaja-Hernandez,
E. Simoen,
S. Gendt,
2021,
Journal of Applied Physics.
Hugo Bender,
Guy Brammertz,
Matty Caymax,
2009
.
O. Richard,
I. Radu,
M. Heyns,
2015
.
Christopher J. Wilson,
H. Bender,
S. Gendt,
2019,
Applied Surface Science.
Wilfried Vandervorst,
S. De Gendt,
Renaat Gijbels,
2000
.
I. Radu,
M. Heyns,
B. Sorée,
2017
.
B. Hamilton,
S. Gendt,
K. Sakurai,
2007
.
H. Struyf,
S. Gendt,
P. Mertens,
2013
.
S. Gendt,
S. Halder,
Bappaditya Dey,
2023,
arXiv.org.
K. Opsomer,
C. Adelmann,
A. Franquet,
2013
.
Marc Porti,
Montserrat Nafría,
Stefan De Gendt,
2013,
Microelectron. Reliab..
Stefan De Gendt,
Marc Heyns,
Bert F. Sels,
2010
.
Richard Carter,
Stefan De Gendt,
Marc Heyns,
2002
.
G. Pourtois,
M. Heyns,
J. Hofkens,
2011
.
S. Gendt,
V. Blanco,
Bappaditya Dey,
2023,
ArXiv.
O. Richard,
E. Cartier,
M. Caymax,
2002
.
M. Heyns,
S. Gendt,
P. Mertens,
1998
.
M. Heyns,
S. Gendt,
P. Mertens,
2000
.
M. Heyns,
G. Groeseneken,
Z. Ji,
2009
.
A. Lauwers,
S. Kubicek,
M. Heyns,
2006
.
A. Veloso,
M. Jurczak,
S. Kubicek,
2005
.
Stefan De Gendt,
G. Roebben,
Marc M. Heyns,
2001,
Microelectron. Reliab..
O. Richard,
H. Bender,
M. Houssa,
2002
.
G. Pourtois,
J. Kittl,
C. Adelmann,
2011
.
R. Degraeve,
G. Groeseneken,
J. Zhang,
2006
.
M. Heyns,
G. Groeseneken,
M. Houssa,
2004
.
Z. Li,
Luigi Pantisano,
Tom Schram,
2007,
Microelectron. Reliab..
G. Groeseneken,
M. Houssa,
S. Gendt,
2004
.
David Hellin,
Stefan De Gendt,
Annelies Delabie,
2005,
Analytical sciences : the international journal of the Japan Society for Analytical Chemistry.
Tom Schram,
Stefan De Gendt,
Johan Vertommen,
2003
.
T. Conard,
S. Gendt,
L. Sygellou,
2010
.
M. Heyns,
G. Groeseneken,
Z. Ji,
2009
.
R. Degraeve,
G. Groeseneken,
A. Peaker,
2007
.
G. Groeseneken,
H. Maes,
I. Ferain,
2007
.
B. Hamilton,
S. Gendt,
M. Ishii,
2007
.
Guido Groeseneken,
Luigi Pantisano,
Robin Degraeve,
2007
.
J. Pétry,
A. Delabie,
G. Vellianitis,
2007
.
G. Pourtois,
Michiel J. van Setten,
S. Gendt,
2023,
J. Chem. Inf. Model..
M. Heyns,
G. Groeseneken,
A. Verhulst,
2008
.
S. Gendt,
R. Grieken,
M. Claes,
2000
.
P. Matagne,
I. Radu,
M. Heyns,
2017,
2017 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC).
O. Richard,
C. Adelmann,
A. Franquet,
2008
.
S. De Gendt,
S. Van Elshocht,
L. Pantisano,
2006,
IEEE Transactions on Electron Devices.
Martin L. Green,
S. Gendt,
I. Levin,
2013
.
K. Maex,
M. Heyns,
G. Groeseneken,
2008,
IEEE Electron Device Letters.
S. Gendt,
S. Halder,
Bappaditya Dey,
2023,
Advanced Lithography.
G. Groeseneken,
A. Volodin,
S. Gendt,
2011,
Nanotechnology.
M. Mackenzie,
S. Gendt,
D. McComb,
2006
.
M. Mackenzie,
S. Gendt,
D. McComb,
2006
.
M. Mackenzie,
S. Gendt,
D. McComb,
2006
.
M. Mackenzie,
S. Gendt,
D. McComb,
2008
.
Luigi Pantisano,
Marc Heyns,
Yasuhiro Shimamoto,
2003
.
C. Merckling,
U. Celano,
S. Gendt,
2019,
Journal of Vacuum Science & Technology A.
Stefan De Gendt,
John S. Suehle,
Ichiro Takeuchi,
2008
.
M. H. van der Veen,
A. Stesmans,
M. Heyns,
2009
.
Adrian M. Ionescu,
Danilo Demarchi,
Gaudenzio Meneghesso,
2019,
Solid-State Electronics.
R. Rooyackers,
M. Heyns,
G. Groeseneken,
2011
.
M. Heyns,
G. Groeseneken,
A. Peaker,
2008,
IEEE Transactions on Electron Devices.
Tom Schram,
Stefan De Gendt,
Malgorzata Jurczak,
2006
.
M. H. van der Veen,
G. Wang,
O. Richard,
2011
.