J. Meersschaut
发表
C. Detavernier,
M. Safari,
M. Nisula,
2021
.
A. Stesmans,
J. Meersschaut,
P. Vereecken,
2016,
ACS applied materials & interfaces.
O. Richard,
K. Opsomer,
C. Adelmann,
2013,
ACS applied materials & interfaces.
J. Swerts,
O. Leupold,
K. Temst,
2002
.
G. Kar,
A. Walke,
J. van Houdt,
2022,
ACS Applied Electronic Materials.
H. Bender,
K. Opsomer,
R. Mertens,
2012
.
L. Witters,
N. Collaert,
S. Sioncke,
2015,
2015 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM).
A. Hikavyy,
E. Rosseel,
B. Douhard,
2019,
physica status solidi (a).
Laura Nyns,
D. Lin,
Annelies Delabie,
2014
.
T. Schram,
H. Bender,
I. Radu,
2018,
Chemistry of Materials.
C. Merckling,
W. Vandervorst,
J. Van Campenhout,
2019,
Journal of Crystal Growth.
K. Temst,
B. Laenens,
A. Vantomme,
2010
.
J. Kittl,
C. Adelmann,
A. Franquet,
2012
.
J. Celis,
J. Meersschaut,
C. Panagopoulos,
2017
.
O. Leupold,
B. Degroote,
A. Vantomme,
2002
.
J. Swerts,
T. Witters,
S. Van Elshocht,
2011
.
J. Swerts,
T. Conard,
H. Struyf,
2014
.
O. Richard,
H. Bender,
C. Merckling,
2017
.
K. Opsomer,
C. Adelmann,
M. Schaekers,
2014
.
V. Simons,
I. De Wolf,
R. Mertens,
2012,
2012 38th IEEE Photovoltaic Specialists Conference.
T. Conard,
S. G. S. Filho,
J. Meersschaut,
2015
.
C. Detavernier,
K. Ludwig,
J. Meersschaut,
2013,
Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids.
C. Merckling,
I. Radu,
M. Heyns,
2018
.
A. Uedono,
A. Franquet,
J. Swerts,
2013
.
T. Hauffman,
J. Meersschaut,
P. Vereecken,
2020
.
W. Vandervorst,
J. Meersschaut,
I. Vickridge,
2019,
Journal of Vacuum Science & Technology A.
T. Conard,
S. De Gendt,
P. Carolan,
2022,
ACS Applied Electronic Materials.
I. Radu,
M. Caymax,
T. Conard,
2018
.
J. Meersschaut,
A. Peter,
Y. Kimura,
2022,
Journal of Vacuum Science & Technology B.
O. Richard,
H. Bender,
K. Opsomer,
2011
.
Christopher J. Wilson,
H. Bender,
S. Gendt,
2019,
Applied Surface Science.
T. Conard,
Z. Tokei,
H. Struyf,
2017
.
J. Geypen,
H. Bender,
C. Detavernier,
2015
.
J. Swerts,
J. Meersschaut,
M. Blauw,
2012
.
Combinatorial Study of Ag-Te Thin Films and Their Application as Cation Supply Layer in CBRAM Cells.
L. Goux,
K. Opsomer,
C. Detavernier,
2015,
ACS combinatorial science.
T. Sajavaara,
W. Vandervorst,
J. Meersschaut,
2016
.
S. Demuynck,
B. Swinnen,
S. Cottenier,
1997
.
K. Sankaran,
K. Opsomer,
G. Pourtois,
2022,
SSRN Electronic Journal.
K. Vanstreels,
J. Meersschaut,
P. Van Der Voort,
2016,
2016 IEEE International Interconnect Technology Conference / Advanced Metallization Conference (IITC/AMC).
L. Goux,
D. Wouters,
J. Kittl,
2011
.
T. Conard,
J. Meersschaut,
S. Armini,
2014
.
Christopher J. Wilson,
N. Jourdan,
Z. Tokei,
2012
.
C. Detavernier,
H. Struyf,
J. Meersschaut,
2013
.
T. Schram,
O. Richard,
G. Pourtois,
2009
.
J. Lisoni,
J. van Houdt,
J. Meersschaut,
2016
.
J. L. Costa-Krämer,
A. Vantomme,
J. Meersschaut,
2022,
Materials horizons.
S. Cottenier,
A. Vantomme,
J. Meersschaut,
2004
.
T. Hauffman,
J. Meersschaut,
P. Vereecken,
2019
.
B. Degroote,
A. Vantomme,
J. Meersschaut,
2002
.
T. Sajavaara,
T. Conard,
J. Meersschaut,
2019,
Applied Surface Science.
W. Vandervorst,
A. Delabie,
A. Vantomme,
2022,
Scientific Reports.
S. Demuynck,
B. Swinnen,
S. Cottenier,
1997
.
L. Goux,
R. Degraeve,
B. Govoreanu,
2011
.
F. Inoue,
Andy Miller,
G. Beyer,
2019,
ECS Journal of Solid State Science and Technology.
W. Vandervorst,
M. Popovici,
A. Vantomme,
2014
.
T. Conard,
J. Meersschaut,
J. Kelly,
2020
.
O. Richard,
H. Bender,
M. Jurczak,
2012
.
C. Detavernier,
M. Safari,
Lowie Henderick,
2020,
ACS applied materials & interfaces.
S. Demuynck,
S. Cottenier,
J. Meersschaut,
1998
.
K. Temst,
B. Laenens,
A. Vantomme,
2010,
Journal of synchrotron radiation.
S. Demuynck,
B. Swinnen,
S. Cottenier,
1998
.
B. Degroote,
J. Dekoster,
J. Meersschaut,
2001
.
J. Meersschaut,
E. Alp,
S. Bader,
2004,
Physical review letters.
K. Temst,
E. Kunnen,
J. Meersschaut,
2002
.
A. Vantomme,
J. Meersschaut,
R. Rüffer,
2006
.
O. Richard,
C. Adelmann,
Z. Tokei,
2015
.
J. Meersschaut,
S. Bader,
D. R. Lee,
2003
.
K. Temst,
C. V. Haesendonck,
A. Vantomme,
2010
.
S. De Gendt,
S. Van Elshocht,
H. Bender,
2015,
Chemical communications.
Arnaud Furnemont,
Geoffrey Pourtois,
J. Swerts,
2015
.
S. Cottenier,
J. Meersschaut,
B. D. Vries,
2002
.
C. Merckling,
R. Heller,
J. Meersschaut,
2022,
Journal of Applied Physics.
O. Richard,
H. Bender,
M. Jurczak,
2013
.
H. Bender,
I. Radu,
M. Heyns,
2017
.
J. Meersschaut,
W. Sturhahn,
T. Toellner,
2007,
Journal of synchrotron radiation.
T. Schram,
H. Bender,
J. Kittl,
2009
.
T. Schram,
C. Adelmann,
A. Franquet,
2008
.
R. Loo,
M. Caymax,
M. Heyns,
2014
.
K. Temst,
B. Laenens,
A. Vantomme,
2009
.
Christoph Adelmann,
Ben Kaczer,
Dirk Wouters,
2009
.
O. Richard,
H. Bender,
C. Adelmann,
2013
.
O. Richard,
H. Bender,
K. Opsomer,
2014
.
B. Laenens,
A. Vantomme,
J. Meersschaut,
2008
.
H. Bender,
M. Jurczak,
C. Adelmann,
2017
.
A. Vantomme,
J. Meersschaut,
M. Rots,
2005
.
O. Richard,
H. Bender,
C. Merckling,
2016
.
K. Temst,
B. Laenens,
A. Vantomme,
2009
.
J. Meersschaut,
2005
.
C. Detavernier,
M. Jurczak,
C. Adelmann,
2015
.
Marina Y. Timmermans,
Cedric Huyghebaert,
Ivan Pollentier,
2021,
Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology.
Marina Y. Timmermans,
Cedric Huyghebaert,
Ivan Pollentier,
2021,
Advanced Lithography.
Ivan Pollentier,
Marina Y. Timmermans,
Christoph Adelmann,
2017,
Photomask Technology.
J. Pearson,
M. Grimsditch,
J. Meersschaut,
2007,
Physical review letters.
J. Meersschaut,
B. Sepiol,
S. Stankov,
2007
.
S. Demuynck,
L. Sandratskii,
S. Cottenier,
2000
.
Iuliana Radu,
Christoph Adelmann,
Marc Schaekers,
2012
.
S. Demuynck,
B. Swinnen,
S. Cottenier,
1998
.
S. Demuynck,
B. Swinnen,
S. Cottenier,
1998
.
H. Bender,
M. Caymax,
M. Heyns,
2016
.
L. Goux,
R. Degraeve,
B. Govoreanu,
2013
.
H. Bender,
I. Radu,
A. Franquet,
2018
.
I. Radu,
A. Franquet,
T. Conard,
2017,
The Journal of chemical physics.
H. Dekkers,
B. Douhard,
M. Caymax,
2015
.
A. Hikavyy,
E. Rosseel,
B. Douhard,
2019,
ECS Transactions.
J. John,
A. Uruena,
A. Lorenz,
2011,
2011 37th IEEE Photovoltaic Specialists Conference.
H. Bender,
W. Vandervorst,
A. Vantomme,
2014
.
D. M. Davenport,
M. Elimelech,
G. Koeckelberghs,
2021,
Environmental Science & Technology Letters.
Iuliana Radu,
Wilfried Vandervorst,
Stefan De Gendt,
2017
.
S. Demuynck,
B. Swinnen,
S. Cottenier,
1997
.
S. Demuynck,
B. Swinnen,
S. Cottenier,
1997
.
S. Demuynck,
B. Swinnen,
S. Cottenier,
1996
.
B. Swinnen,
J. Meersschaut,
M. Rots,
1995
.
S. Demuynck,
B. Swinnen,
S. Cottenier,
1997
.
S. Demuynck,
B. Swinnen,
S. Cottenier,
1997
.
J. Meersschaut,
W. Sturhahn,
T. Toellner,
2005
.
O. Leupold,
B. Degroote,
J. Meersschaut,
2002,
Physical review letters.
J. Meersschaut,
M. Rots,
D. Aernout,
2008
.
Wilfried Vandervorst,
Marc Heyns,
Roger Loo,
2013
.
Wilfried Vandervorst,
Marc Heyns,
Roger Loo,
2011
.
J. Meersschaut,
R. Vianden,
M. Rots,
1993
.
H. Bender,
I. Radu,
M. Caymax,
2016
.
S. Demuynck,
S. Cottenier,
J. Meersschaut,
2001
.
Paweł T. Jochym,
B. Laenens,
A. Vantomme,
2009
.
H. Bender,
R. Mertens,
J. John,
2013
.
T. Nuytten,
D. Van Den Heuvel,
Y. Oniki,
2021,
Advanced Lithography.
B. Douhard,
H. Bender,
M. Caymax,
2016
.
B. Douhard,
G. Pourtois,
R. Loo,
2013
.
W. Vandervorst,
A. Vantomme,
J. Meersschaut,
2022,
Surfaces and Interfaces.
W. Vandervorst,
A. Delabie,
A. Vantomme,
2023,
Nuclear Instruments and Methods in Physics Reseach B.
Wilfried Vandervorst,
Johannes Meersschaut,
W. Vandervorst,
2017
.
J. Meersschaut,
S. Bader,
M. Rots,
2001,
Physical review letters.
S. Demuynck,
A. Tulapurkar,
S. Cottenier,
2001
.
G. Beyer,
E. Beyne,
K. Croes,
2017
.
S. De Gendt,
J. Meersschaut,
R. Ameloot,
2021,
ACS applied materials & interfaces.
C. Merckling,
M. Heyns,
D. Vanhaeren,
2019,
Nanotechnology.
M. Jurczak,
J. Kittl,
C. Adelmann,
2010,
2010 IEEE International Memory Workshop.
H. Bender,
K. Opsomer,
R. Degraeve,
2009
.
W. Vandervorst,
J. Meersschaut,
G. Laricchiuta,
2017
.
T. Hauffman,
J. Meersschaut,
P. Vereecken,
2019,
Chemistry of Materials.
B. Douhard,
M. Jurczak,
A. Redolfi,
2015
.
Robert Mertens,
Hugo Bender,
Richard Russell,
2011
.
S. Demuynck,
B. Swinnen,
S. Cottenier,
1997
.