M. Elwenspoek
发表
Miko Elwenspoek,
Henri V. Jansen,
de M.J. Boer,
1995
.
Miko Elwenspoek,
Henri V. Jansen,
Meint J. de Boer,
1995
.
Remco J. Wiegerink,
Miko Elwenspoek,
Henri V. Jansen,
1997
.
M. D. de Boer,
H. Jansen,
M. Elwenspoek,
2009
.
J. Gardeniers,
J. Berenschot,
H. Tong,
2002
.
J. Fluitman,
M. Elwenspoek,
R. Legtenberg,
1995,
Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems. 1995.
Miko Elwenspoek,
Rob Legtenberg,
Chengqun Gui,
1998
.
Thermal and mechanical analysis of a microreactor for high temperature catalytic gas phase reactions
R. E. Oosterbroek,
A. Berg,
J. Gardeniers,
2004
.
A. Berg,
J. Gardeniers,
M. Elwenspoek,
1997
.
J. Fluitman,
S. Bouwstra,
M. Elwenspoek,
1992
.
R. Legtenberg,
H. Jansen,
M. Elwenspoek,
1996
.
R. E. Oosterbroek,
A. J. Nijdam,
A. Berg,
2000
.
R. E. Oosterbroek,
A. J. Nijdam,
A. van den Berg,
2000,
Journal of Microelectromechanical Systems.
R. E. Oosterbroek,
A. J. Nijdam,
A. Berg,
2000
.
A. van den Berg,
J. Gardeniers,
J. Berenschot,
2000,
Journal of Microelectromechanical Systems.
J. Burger,
ter Hjm Marcel Brake,
H. Rogalla,
1997
.
G. Krijnen,
M. Elwenspoek,
R. Wiegerink,
2000,
Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS).
G. Krijnen,
M. Elwenspoek,
R. Wiegerink,
1999,
Technical Digest. IEEE International MEMS 99 Conference. Twelfth IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (Cat. No.99CH36291).
G. Krijnen,
M. Elwenspoek,
R. Wiegerink,
1999
.
M. Elwenspoek,
C. Rijn,
M. Elwenspoek,
1997
.
J. Fluitman,
H. Gardeniers,
H. Jansen,
1996
.
A. van den Berg,
J. Berenschot,
M. Elwenspoek,
2002,
Analytical chemistry.
H. Tilmans,
R. Legtenberg,
M. Elwenspoek,
1994
.
M. Elwenspoek,
E. Berenschot,
H.-E. de Bree,
1999,
Technical Digest. IEEE International MEMS 99 Conference. Twelfth IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (Cat. No.99CH36291).
Gijsbertus J.M. Krijnen,
Miko Elwenspoek,
Szabolcs Deladi,
2004
.
Gijsbertus J.M. Krijnen,
Miko Elwenspoek,
Szabolcs Deladi,
2005
.
H. Fujita,
M. Elwenspoek,
E. Sarajlic,
2006,
19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems.
S. Kuiper,
C. Rijn,
M. Elwenspoek,
1999
.
Gijsbertus J.M. Krijnen,
Miko Elwenspoek,
Wietze Nijdam,
2001
.
Jan H. J. Fluitman,
Miko Elwenspoek,
F.C.M. van de Pol,
1990
.
A. V. van Apeldoorn,
H. Jansen,
M. Elwenspoek,
2012,
Small.
Miko Elwenspoek,
Theodorus S.J. Lammerink,
A. Prak,
1990
.
Miko Elwenspoek,
J.J.J. van Baar,
Rob Legtenberg,
1998
.
Miko Elwenspoek,
J.J.J. van Baar,
Rob Legtenberg,
1998
.
Leon Abelmann,
Niels Roelof Tas,
Erwin Berenschot,
2010
.
R. Legtenberg,
M. Elwenspoek,
N. Tas,
1997
.
Leon Abelmann,
Miko Elwenspoek,
Gerrit A. Folkertsma,
2010
.
L. Abelmann,
M. Elwenspoek,
J. Engelen,
2010,
2010 IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS).
M. Elwenspoek,
T. Lammerink,
D. Dascalu,
1994,
Proceedings of the International Solid-State Sensors and Actuators Conference - TRANSDUCERS '95.
M. Elwenspoek,
T. Lammerink,
D. Popescu,
1996,
1996 International Semiconductor Conference. 19th Edition. CAS'96 Proceedings.
Miko Elwenspoek,
D. S. Popescu,
Theodorus S.J. Lammerink,
1994,
Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Robotic Systems.
M. D. de Boer,
H. Jansen,
M. Elwenspoek,
2010
.
H. Jansen,
M. Elwenspoek,
M. Boer,
2010
.
Miko Elwenspoek,
Henri V. Jansen,
Johannes G.E. Gardeniers,
2002
.
J. Gardeniers,
J. Berenschot,
M. Elwenspoek,
1998
.
R. E. Oosterbroek,
A. Berg,
J. Gardeniers,
2005
.
R. E. Oosterbroek,
A. van den Berg,
J. Gardeniers,
2005,
Lab on a chip.
J. Berenschot,
H. Tong,
G. Krijnen,
2000
.
Jan H. J. Fluitman,
Miko Elwenspoek,
Theodorus S.J. Lammerink,
1989
.
R. E. Oosterbroek,
A. van den Berg,
J. Berenschot,
1997,
Proceedings of International Solid State Sensors and Actuators Conference (Transducers '97).
Miko Elwenspoek,
A. van den Berg,
Theodorus S.J. Lammerink,
1999
.
Remco J. Wiegerink,
Miko Elwenspoek,
Theodorus S.J. Lammerink,
2007
.
Gijsbertus J.M. Krijnen,
Miko Elwenspoek,
Edin Sarajlic,
2003
.
M. Zacharias,
H. Jansen,
M. Elwenspoek,
2012
.
M. Elwenspoek,
E. Berenschot,
H. Rogalla,
1999,
Technical Digest. IEEE International MEMS 99 Conference. Twelfth IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (Cat. No.99CH36291).
J. Burger,
ter Hjm Marcel Brake,
H. Rogalla,
2002
.
Miko Elwenspoek,
Herman J. Holland,
H.J.M. ter Brake,
2003
.
H. Tong,
C. Rijn,
H. Jansen,
2004
.
E. Sarajlic,
H. Jansen,
M. Elwenspoek,
2013,
Nanotechnology.
J. Gardeniers,
H. Tong,
C. Rijn,
2004
.
Miko Elwenspoek,
Johannes G.E. Gardeniers,
A. van den Berg,
2003
.
A. Berg,
J. Gardeniers,
M. Elwenspoek,
2001
.
A. Manz,
L. Abelmann,
G. Krijnen,
2019,
Advanced Materials Interfaces.
F. Heyden,
A. Berg,
J. Gardeniers,
2000
.
Jan H. J. Fluitman,
Miko Elwenspoek,
Theodorus S.J. Lammerink,
1995
.
M. Elwenspoek,
R. Sanders,
V. Svetovoy,
2013,
Journal of physics. Condensed matter : an Institute of Physics journal.
H. Jansen,
M. Elwenspoek,
N. Tas,
2010,
2010 IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference.
Yiping Zhao,
J. Huskens,
H. Jansen,
2009
.
J. Berenschot,
H. Jansen,
M. Elwenspoek,
2006
.
J. Burger,
H. Jansen,
M. Elwenspoek,
2008,
The Review of scientific instruments.
Yiping Zhao,
J. Huskens,
H. Jansen,
2009,
Nanotechnology.
G. Krijnen,
M. Elwenspoek,
E. Berenschot,
2004
.
M. Elwenspoek,
1986
.
Z. Moktadir,
M. Elwenspoek,
R. Wiegerink,
2001
.
R. E. Oosterbroek,
A. Berg,
J. Berenschot,
2001
.
J. Haneveld,
H. Jansen,
M. Elwenspoek,
2003
.
G. Krijnen,
M. Elwenspoek,
R. Wiegerink,
2001
.
Miko Elwenspoek,
A. van den Berg,
Johan W. Berenschot,
1998
.
L. Abelmann,
M. Mastrangeli,
M. Elwenspoek,
2020,
Science Advances.
L. Abelmann,
M. Elwenspoek,
L. A. Woldering,
2011,
1101.0534.
J. Berenschot,
G. Krijnen,
M. Elwenspoek,
2005
.
J. Gardeniers,
J. Berenschot,
M. D. de Boer,
2002,
Technical Digest. MEMS 2002 IEEE International Conference. Fifteenth IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (Cat. No.02CH37266).
V. Subramaniam,
M. Elwenspoek,
N. Tas,
2007
.
M. Elwenspoek,
1986
.
R. E. Oosterbroek,
A. Berg,
J. Berenschot,
2000
.
T. T. Veenstra,
A. Berg,
J. Gardeniers,
2001
.
G. Krijnen,
M. Elwenspoek,
E. Berenschot,
2006
.
L. Abelmann,
M. Siekman,
H. Nazeer,
2009
.
L. Abelmann,
M. Siekman,
H. Nazeer,
2009
.
R. Truckenmüller,
H. Jansen,
M. Elwenspoek,
2012
.
G. Krijnen,
E. Keim,
M. Elwenspoek,
2005
.
J. Gardeniers,
J. Berenschot,
M. Elwenspoek,
2003
.
Miko Elwenspoek,
Cristina Neagu,
Johannes G.E. Gardeniers,
1995,
Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems. 1995.
B. Degens,
M. Elwenspoek,
R. Wissing,
1986
.
P. Bennema,
M. Elwenspoek,
J. P. Eerden,
1987
.
M. Elwenspoek,
C. V. van Rijn,
1995,
Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems. 1995.
R. D. Groot,
P. Bennema,
M. Elwenspoek,
1986
.
M. Elwenspoek,
N. Tas,
E. Berenschot,
2012,
2012 12th IEEE International Conference on Nanotechnology (IEEE-NANO).
V. Subramaniam,
H. Tong,
M. Elwenspoek,
2012,
Journal of colloid and interface science.
M. Elwenspoek,
N. Tas,
V. Svetovoy,
2009,
Journal of colloid and interface science.
H. Jansen,
M. Elwenspoek,
N. Tas,
2007
.
J. Berenschot,
J. Brugger,
G. Krijnen,
2003
.
P. Bennema,
M. Elwenspoek,
M. Hottenhuis,
1991
.
A. H. Sonnenberg,
A.F.M. Sander,
M. Elwenspoek,
1997,
Proceedings IEEE The Tenth Annual International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems. An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Robots.
Miko Elwenspoek,
Harrie A.C. Tilmans,
Jan H. J. Fluitman,
1992
.
Miko C. Elwenspoek,
Kevin M. Knowles,
K. Knowles,
2010
.
Michael Curt Elwenspoek,
Johan W. Berenschot,
H.J.M. ter Brake,
2009
.
Jan H. J. Fluitman,
Miko Elwenspoek,
Johan W. Berenschot,
1995,
Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems. 1995.
T. T. Veenstra,
A. Berg,
J. Gardeniers,
2001
.
R. E. Oosterbroek,
A. van den Berg,
R. Tijssen,
2005,
Journal of Microelectromechanical Systems.
Miko Elwenspoek,
M. Elwenspoek,
2010,
Micromachines.
R. Legtenberg,
M. Elwenspoek,
E. Berenschot,
1995,
Proceedings of the International Solid-State Sensors and Actuators Conference - TRANSDUCERS '95.
Miko Elwenspoek,
Remco G.P. Sanders,
T. T. Veenstra,
2003
.
Miko Elwenspoek,
Theodorus S.J. Lammerink,
Niels Roelof Tas,
1998
.
L. Abelmann,
M. Nguyen,
H. Nazeer,
2011
.
L. Abelmann,
M. Nguyen,
H. Nazeer,
2015,
Journal of Microelectromechanical Systems.
Miko Elwenspoek,
Henri V. Jansen,
Johan W. Berenschot,
2000,
Proceedings IEEE Thirteenth Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (Cat. No.00CH36308).
M.J. de Boer,
M. Elwenspoek,
R. Luttge,
2007,
Journal of Microelectromechanical Systems.
Miko Elwenspoek,
Rob Legtenberg,
R. Legtenberg,
2005
.
M. Elwenspoek,
M. Elwenspoek,
D.M. van den Broek,
2007,
TRANSDUCERS 2007 - 2007 International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference.
Miko Elwenspoek,
Harrie A.C. Tilmans,
Rob Legtenberg,
1990
.
T. T. Veenstra,
A. van den Berg,
J. Gardeniers,
2002,
Talanta.
Gijsbertus J.M. Krijnen,
Miko Elwenspoek,
Johan W. Berenschot,
1999
.
J. Fluitman,
M. Elwenspoek,
Lammerink,
2004
.
Miko Elwenspoek,
Johan W. Berenschot,
A. van den Berg,
1998
.
P. Korte,
M. Elwenspoek,
B. Schwierzi,
1996
.
P. Korte,
M. Elwenspoek,
B. Schwierzi,
1997
.
J. Fluitman,
R. Legtenberg,
M. Elwenspoek,
1995
.
Henri V. Jansen,
Michael Curt Elwenspoek,
S. Unnikrishnan,
2007
.
Jan H. J. Fluitman,
Miko Elwenspoek,
Rob Legtenberg,
1997
.
H. Fujita,
M. Elwenspoek,
E. Sarajlic,
2005,
18th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2005. MEMS 2005..
M. Elwenspoek,
H. Fujita,
E. Sarajlic,
2005,
The 13th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2005. Digest of Technical Papers. TRANSDUCERS '05..
Miko Elwenspoek,
Henri V. Jansen,
A. van den Berg,
2001
.
Miko Elwenspoek,
M. H. Goedbloed,
Stefan Schlautmann,
2002
.
M. Elwenspoek,
R. Wiegerink,
2001
.
Leon Abelmann,
Miko Elwenspoek,
J. W. Berenschot,
2009,
Micromachines.
Miko Elwenspoek,
Eddy de Weerd,
S. Bouwstra,
1990
.
J. Gardeniers,
M. Elwenspoek,
N. Tas,
1999,
Technical Digest. IEEE International MEMS 99 Conference. Twelfth IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (Cat. No.99CH36291).
Michael Curt Elwenspoek,
Johan W. Berenschot,
Niels Roelof Tas,
2009
.
R. E. Oosterbroek,
A. Berg,
J. Berenschot,
1999
.
J. W. Berenschot,
Albert van den Berg,
Gregory Pandraud,
1999,
Photonics West - Micro and Nano Fabricated Electromechanical and Optical Components.
Miko Elwenspoek,
Henri V. Jansen,
A. van den Berg,
2002
.
M. Elwenspoek,
A. van den Berg,
A. van den Berg,
1996,
Proceedings of Ninth International Workshop on Micro Electromechanical Systems.
J. Sesé,
M. Elwenspoek,
R. Wiegerink,
2006
.
Miko Elwenspoek,
Henri V. Jansen,
Jeroen Haneveld,
2004
.
M. D. de Boer,
Yiping Zhao,
J. Huskens,
2008
.
Remco G.P. Sanders,
Szabolcs Deladi,
Michael Curt Elwenspoek,
2007
.
J.W. Berenschot,
M.C. Elwenspoek,
R. E. Oosterbroek,
2003,
TRANSDUCERS '03. 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems. Digest of Technical Papers (Cat. No.03TH8664).
L. Abelmann,
H. Nazeer,
M. Elwenspoek,
2010
.
J.W. Berenschot,
M. Elwenspoek,
C. Gui,
1997,
Proceedings of International Solid State Sensors and Actuators Conference (Transducers '97).
Szabolcs Deladi,
Davide Iannuzzi,
V. J. Gadgil,
2006
.
M. Zacharias,
Firat Güder,
M. Elwenspoek,
2012,
ACS Nano.
Miko Elwenspoek,
Henri V. Jansen,
G.C.F. Venhorst,
2005
.
J. Fluitman,
J. Berenschot,
V. Spiering,
1994,
Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Robotic Systems.
S. Kuiper,
C. Rijn,
G. Krijnen,
2002
.
Miko Elwenspoek,
W. F. Druyvesteyn,
Hans-Elias de Bree,
1999
.
M. Elwenspoek,
N. Tas,
H. Yagubizade,
2014,
2014 IEEE 27th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS).
Miko Elwenspoek,
Henri V. Jansen,
Srinivas Vanapalli,
2007
.
A. A. Kuijpers,
M. Elwenspoek,
G. Krijnen,
2006
.
J. Berenschot,
M. D. de Boer,
G. Krijnen,
2005,
18th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2005. MEMS 2005..
M.J. de Boer,
S. Deladi,
J. Berenschot,
2004,
17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems. Maastricht MEMS 2004 Technical Digest.
M. Elwenspoek,
M. Elwenspoek,
H. Wensink,
2002
.
H. Jansen,
M. Elwenspoek,
H. T. ter Brake,
2011
.
Michael Curt Elwenspoek,
Henricus V. Jansen,
M. C. Louwerse,
2010
.
M. Elwenspoek,
G. Krijnen,
M. Elwenspoek,
2000
.
M. Dijkstra,
T.S.J. Lammerink,
M.J. de Boer,
2008,
2008 IEEE Sensors.
M. Dijkstra,
M.J. de Boer,
M. Elwenspoek,
2007,
2007 IEEE 20th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS).
A. J. Nijdam,
E. Veenendaal,
M. Elwenspoek,
2001
.
J. Burger,
M. Elwenspoek,
E. Berenschot,
1998
.
H. Jansen,
M. Elwenspoek,
N. Tas,
2010,
Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids.
M. Elwenspoek,
A. Heijden,
Michel Derks,
1989
.
Miko Elwenspoek,
Cristina Neagu,
Henri V. Jansen,
1998
.
Remco J. Wiegerink,
Miko Elwenspoek,
Johan W. Berenschot,
2008
.
M. Elwenspoek,
E. Berenschot,
J. Greve,
2000,
Proceedings IEEE Thirteenth Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (Cat. No.00CH36308).
Meint J. de Boer,
Remeo J. Wiegerink,
Miko C. Elwenspoek,
1998,
Photonics West - Micro and Nano Fabricated Electromechanical and Optical Components.
M. Elwenspoek,
E. Berenschot,
A. van den Berg,
1997,
Proceedings IEEE The Tenth Annual International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems. An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Robots.
J. Gardeniers,
M. Elwenspoek,
C. Neagu,
2004
.
Miko Elwenspoek,
Henri V. Jansen,
W. Ehrfeld,
1995,
Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems. 1995.
J. W. Berenschot,
Theo S. J. Lammerink,
Miko C. Elwenspoek,
2000,
SPIE MOEMS-MEMS.
A. Berg,
J. Berenschot,
M. Elwenspoek,
2002
.
J. W. Berenschot,
Meint J. de Boer,
Remeo J. Wiegerink,
2000,
SPIE MOEMS-MEMS.
Gijsbertus J.M. Krijnen,
Miko Elwenspoek,
Johan W. Berenschot,
1999
.
Miko Elwenspoek,
Henri V. Jansen,
Jeroen Haneveld,
2022
.
Miko Elwenspoek,
Sandeep Unnikrishnan,
Henri Jansen,
2009,
Lab on a Chip.
M. Zacharias,
Firat Güder,
M. Elwenspoek,
2012,
ACS nano.