B. Schubert
发表
J. Dickinson,
S. Langford,
L. Cramer,
2005
.
P. Höschl,
B. Schubert,
H. Bittner,
1991
.
H. Heukenkamp,
B. Schubert,
K. Möllmann,
1991
.
Hans Willy Becker,
Torsten Feigl,
Norbert Kaiser,
2002,
SPIE Advanced Lithography.