S. Haukka
发表
K. Saraswat,
P. McIntyre,
M. Tuominen,
2001
.
A. Stesmans,
M. Heyns,
M. Houssa,
2000
.
Ki-Bum Kim,
D. Kang,
Soo‐Hyun Kim,
2004
.
B. Clausen,
S. Haukka,
A. M. Molenbroek,
1999
.
S. Haukka,
T. Suntola,
M. Lindblad,
1997
.
S. Haukka,
T. Suntola,
E. Lakomaa,
1993
.
S. Lhostis,
C. Wenger,
F. Roozeboom,
2014
.
S. Haukka,
T. Suntola,
E. Lakomaa,
1999
.
S. Haukka,
T. Suntola,
1997
.
G. Beyer,
A. Satta,
K. Maex,
2000
.
W. Besling,
Wei-min Li,
S. Haukka,
2003
.
O. Richard,
H. Bender,
A. Satta,
2002
.
Yong Bae Kim,
I. Raaijmakers,
M. Tuominen,
1999
.
Sari Johanna Kaipio,
M. Tuominen,
W. Besling,
2002,
Proceedings of the IEEE 2002 International Interconnect Technology Conference (Cat. No.02EX519).
S. Haukka,
A. Root,
E. Lakomaa,
1993
.
S. Haukka,
A. Root,
1994
.
M. Ritala,
M. Leskelä,
M. Kemell,
2012
.
S. Haukka,
T. Suntola,
A. Kytökivi,
1997
.
S. Haukka,
E. Lakomaa,
J. Vilhunen,
1993
.
S. Haukka,
T. Suntola,
E. Lakomaa,
1994
.
S. Haukka,
2007
.
S. Haukka,
A. Kytökivi,
1997
.
A. Toffoli,
S. Maitrejean,
L. Perniola,
2011,
2011 IEEE International Interconnect Technology Conference.
M. Halls,
E. Tois,
S. Haukka,
2010,
Inorganic chemistry.
Sari Johanna Kaipio,
T. Sajavaara,
S. Haukka,
2005
.
S. Haukka,
A. Saastamoinen,
1992
.
R. Harjula,
J. Lehto,
S. Haukka,
1990
.
S. Haukka,
T. Suntola,
E. Lakomaa,
1994
.
A. Krause,
R. Puurunen,
S. Haukka,
2000
.
Steven M. George,
Mikko Ritala,
Jeffrey W. Elam,
2013
.
Viljami Pore,
W. Kessels,
Koen de Peuter,
2015,
ACS applied materials & interfaces.
M. Ritala,
M. Givens,
M. Tuominen,
2021,
Chemistry of Materials.
S. Haukka,
A. Rantavaara,
1987
.
S. Haukka,
A. Root,
T. Blomberg,
2008
.
Thierry Baron,
Frédéric Mazen,
François Martin,
2003
.
E. Tois,
F. Roozeboom,
J. V. Berkum,
2004
.
J. Lehto,
S. Haukka,
M. Blomberg,
1991
.
J. Lehto,
S. Haukka,
P. Koskinen,
1990
.
M. Caymax,
T. Conard,
W. Vandervorst,
2002
.
S. Haukka,
T. Suntola,
A. Kytökivi,
1995
.
O. Richard,
H. Bender,
M. Caymax,
2002
.
J. Swerts,
E. Tois,
A. Delabie,
2007
.
Kai-Erik Elers,
Brad Aitchison,
B. Aitchison,
2006
.
Ki-Bum Kim,
D. Kang,
Soo‐Hyun Kim,
2003
.
A. Krause,
R. Puurunen,
A. Lindblad,
2000
.
M. Ritala,
Varun Sharma,
Suresh Kondati Natarajan,
2021,
Advanced Materials Interfaces.
W. Besling,
Wei-min Li,
S. Haukka,
2002
.
M. Tuominen,
Wei-min Li,
S. Haukka,
2002,
Proceedings of the IEEE 2002 International Interconnect Technology Conference (Cat. No.02EX519).
Tuomo Suntola,
S. Haukka,
Eeva-Liisa Lakomaa,
1992
.
Ki-Bum Kim,
D. Kang,
Soo‐Hyun Kim,
2003
.
M. Tuominen,
S. Haukka,
Kai-Erik Elers,
2000
.
E. Tois,
T. Ahlgren,
L. Khriachtchev,
2003
.
M. Ritala,
M. Givens,
M. Tuominen,
2021,
Applied Surface Science.
Stefan De Gendt,
G. Roebben,
Marc M. Heyns,
2001,
Microelectron. Reliab..
O. Richard,
H. Bender,
M. Houssa,
2002
.
E. Tois,
M. Tuominen,
W. Besling,
2003
.
C. Wenger,
M. Tuominen,
T. Saukkonen,
2012
.