T. Moriya
发表
N. Ito,
T. Moriya,
F. Uesugi,
2008
.
N. Ito,
T. Moriya,
F. Uesugi,
2004
.
Control of behavior of particles flaked off an anode in plasma etch-back equipment by bias electrode
N. Ito,
T. Moriya,
F. Uesugi,
2000,
Proceedings of ISSM2000. Ninth International Symposium on Semiconductor Manufacturing (IEEE Cat. No.00CH37130).
A. Uedono,
K. Ozaki,
H. Ebe,
1997
.
A. Uedono,
T. Ohshima,
Y. Aoki,
1996
.
K. Okuyama,
T. Morimoto,
M. Shimada,
2004
.
A. Uedono,
S. Ishibashi,
R. Suzuki,
2012
.
A. Uedono,
K. Yamabe,
Kazuki Ito,
2006
.
A. Uedono,
S. Fujii,
T. Ohdaira,
1997
.
A. Uedono,
Y. Shigeta,
Y. Harashima,
2022,
Thin Solid Films.
T. Moriya,
K. Denpoh,
S. Iwashita,
2018,
Surface and Coatings Technology.
K. Karahashi,
S. Hamaguchi,
Hu Li,
2020,
Japanese Journal of Applied Physics.
A. Uedono,
M. Kagaya,
T. Moriya,
2018
.
A. Uedono,
Masahito Watanabe,
T. Ohdaira,
1996
.
A. Uedono,
Masashi Watanabe,
T. Ohdaira,
1996
.
A. Uedono,
T. Ohdaira,
R. Suzuki,
1997
.
A. Uedono,
Masahito Watanabe,
T. Ohdaira,
1997
.
A. Uedono,
N. Komuro,
T. Moriya,
1996
.
A. Uedono,
Masashi Watanabe,
T. Ohdaira,
1996
.
A. Uedono,
M. Kagaya,
T. Moriya,
2018,
Thin Solid Films.
N. Ito,
T. Moriya,
F. Uesugi,
2000
.
H. Doi,
N. Ito,
T. Moriya,
1998
.
A. Uedono,
K. Umeda,
T. Moriya,
1995
.
A. Uedono,
T. Moriya,
S. Iwashita,
2018,
Journal of Vacuum Science & Technology A.
Tsuyoshi Moriya,
Hiroshi Doi,
Fumihiko Uesugi,
1998
.