T. Harigai

发表

R. Takayama, T. Harigai, Takami Ishida, 2020, 2020 IEEE 33rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS).

S. Wada, H. Kakemoto, T. Tsurumi, 2011 .

K. Saito, S. Wada, H. Kakemoto, 2004 .