E. Kvam
发表
S. Dorris,
M. Lanagan,
J. Dawley,
1994
.
R. Bashir,
G. Neudeck,
E. Kvam,
1995
.
M. Ladisch,
Manisha Gulati,
K. Bowman,
1996
.
A. Vasiliev,
E. Kvam,
V. Gopal,
2001
.
C. Humphreys,
D. Maher,
E. Kvam,
1990
.
T. Sands,
E. Stach,
Bivas Saha,
2016
.
E. Kvam,
R. Balluffi,
R. W. Balluffi,
1987
.
E. Kvam,
R. Balluffi,
1987
.
J. Washburn,
E. Kvam,
1990
.
Rashid Bashir,
G. W. Neudeck,
R. Bashir,
1995
.
P. Zavracky,
L. Allen,
J. Washburn,
1991
.
S. Liou,
A. Vasiliev,
E. Kvam,
1996
.
K. Sandhage,
A. Vasiliev,
E. Kvam,
1998
.
E. Kvam,
1994
.
C. Humphreys,
D. Eaglesham,
J. Bean,
1989
.
R. Hull,
E. Kvam,
1993
.
Z. Liliental-Weber,
J. Washburn,
E. Kvam,
1991
.
E. Kvam,
V. Gopal,
A. L. Vasiliey,
2001
.
J. Woodall,
E. Chen,
E. Kvam,
1999
.
C. Humphreys,
D. Maher,
E. Kvam,
1989
.
M. McElfresh,
E. Kvam,
D. Linehan,
1996
.
E. Kvam,
D. Linehan,
V. Pavate,
1994
.
E. Kvam,
1994
.
M. McElfresh,
V. Souw,
J. Woodall,
2000
.
R. Bashir,
G. Neudeck,
E. Kvam,
1993
.
R. Bashir,
G. Neudeck,
E. Kvam,
1993
.
Gerold W. Neudeck,
Christos G. Takoudis,
Eric P. Kvam,
1995,
Proceedings of the Eleventh Biennial University/Government/ Industry Microelectronics Symposium.
S. Samavedam,
G. Neudeck,
A. Kabir,
1995
.
M. Acosta,
E. Kvam,
D. Johnson,
2010
.
T. Sands,
R. Ramesh,
V. Keramidas,
1993
.
G. Kozlowski,
C. Oberly,
E. Kvam,
1994
.
E. Kvam,
A. S. Johnson,
Michael W. Carmondy,
1995
.
M. McElfresh,
E. Kvam,
D. Linehan,
1998
.
R. McCallum,
M. Kramer,
L. Chumbley,
1990
.
M. Kramer,
L. Chumbley,
E. Kvam,
1990
.
R. Gronsky,
E. Kvam,
M. Fendorf,
1989
.
C. Varanasi,
P. McGinn,
E. Kvam,
1994
.
C. Varanasi,
E. Kvam,
L. Williams,
1994
.
M. Chandrasekhar,
W. Yelon,
M. Chen,
1998
.
P. McGinn,
E. Kvam,
V. Pavate,
1995
.
P. McGinn,
E. Kvam,
D. Balkin,
1993
.
C. Varanasi,
E. Kvam,
V. Pavate,
1995
.
E. Kvam,
D. Balkin,
A. Zanota,
1992
.
Eric P. Kvam,
E. Kvam,
Ia Golinkin,
1997
.
Colin J. Humphreys,
D. J. Eaglesham,
C. Humphreys,
1991
.
J. Kim,
E. Kvam,
1997
.
M. Capano,
S. Tsoi,
A. Ramdas,
2006
.
J. Woodall,
T. Chin,
E. Kvam,
1998
.
S. Park,
Ying Diao,
Ke Zhao,
2021
.
N. Cheung,
K. Yu,
D. Olson,
1990
.
F. Namavar,
C. H. Perry,
E. Kvam,
1991
.
B. Tanner,
C. Humphreys,
D. Eaglesham,
1988
.
M. Ladisch,
Manisha Gulati,
E. Kvam,
1998
.
Doping of polycrystalline silicon films using an arsenic spin‐on‐glass source and surface smoothness
R. Bashir,
S. Venkatesan,
G. Neudeck,
1993
.
M. McElfresh,
V. Souw,
J. Woodall,
2000
.
J. Woodall,
E. Chen,
E. Kvam,
2000
.
M. McElfresh,
A. Vasiliev,
E. Kvam,
1997
.
M. McElfresh,
A. Vasiliev,
E. Kvam,
1995
.
T. Sands,
E. Stach,
A. Boltasseva,
2015
.
E. Kvam,
1991
.
J. S. Liu,
S. Babcock,
P. Bristowe,
1985
.
S. Samavedam,
B. Wessels,
J. Woodall,
1995
.
E. Kvam,
1990
.
B. Tanner,
C. Humphreys,
D. Eaglesham,
1987
.
F. Namavar,
E. Kvam,
1991
.
C. Humphreys,
D. Eaglesham,
J. Bean,
1988
.