Ivo W. Rangelow

6.1.2 - Miniatur-Stehende-Welle-Interferometer auf Basis schneller, transparenter Photodioden

Eberhard Manske, Manuel Hofer, Jens-Peter Zöllner, 2016 .

Lithographie der nächsten Generation: Angesichts milliardenschwerer Entwicklungskosten muss die Industrie zwischen vier lithographischen Verfahren auswählen

Ivo W. Rangelow, R. Kassing, Rainer Käsmaier, 2000 .