G. Kampschulte
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G. Kampschulte,
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1991
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G. Kampschulte,
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1993
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Cathodic arc deposition of TiN and Zr(C, N) at low substrate temperature using a pulsed bias voltage
J. Ebberink,
W. Olbrich,
J. Fessmann,
1991
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G. Weise,
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G. Kampschulte,
1993
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G. Kampschulte,
W. Liebmann,
1966
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