S. Möllenbeck
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A. Mayer,
H. Scheer,
N. Bogdanski,
2010
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H. Scheer,
N. Bogdanski,
S. Möllenbeck,
2008
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A. Mayer,
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K. Zimmer,
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Y. Hirai,
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A. Mayer,
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Hella-Christin Scheer,
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European Mask and Lithography Conference.
K. Zimmer,
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