Y. Hayashi
发表
Control of behavior of particles flaked off an anode in plasma etch-back equipment by bias electrode
N. Ito,
T. Moriya,
F. Uesugi,
2000,
Proceedings of ISSM2000. Ninth International Symposium on Semiconductor Manufacturing (IEEE Cat. No.00CH37130).
H. Matsumoto,
S. Suib,
Y. Hayashi,
2001
.
H. Matsumoto,
M. Márquez,
S. Suib,
1998
.
T. Jomori,
H. Yasuda,
F. Takaiwa,
2005,
Transgenic Research.
T. Tanaka,
K. Fukuda,
S. Nishino,
2017,
Journal of Electronic Materials.
Guanguang Xia,
H. Matsumoto,
S. Suib,
1999
.
H. Matsumoto,
M. Márquez,
S. Suib,
1999
.
H. Matsumoto,
M. Márquez,
S. Suib,
1998
.
H. Matsumoto,
S. Suib,
Y. Hayashi,
2001
.
H. Matsumoto,
S. Suib,
Y. Hayashi,
1999
.
Guanguang Xia,
H. Matsumoto,
S. Suib,
2000
.
H. Matsumoto,
S. Suib,
Y. Hayashi,
2004
.
H. Matsumoto,
S. Suib,
S. Brock,
2002
.
H. Matsumoto,
M. Márquez,
S. Suib,
1998
.
Steven L. Suib,
Shuji Tanabe,
Kenji Okitsu,
1999
.
H. Matsumoto,
S. Suib,
S. Brock,
2000
.
H. Matsumoto,
M. Márquez,
S. Suib,
1998
.
A. Fujishima,
Y. Hayashi,
N. Nishida,
2014,
Molecules.
A. Fujishima,
T. Murakami,
K. Nakata,
2012
.
A. Fujishima,
Y. Hayashi,
S. Tago,
2014
.
K. Asaka,
T. Koga,
N. Higashi,
2014
.
N. Ito,
T. Moriya,
F. Uesugi,
2000
.
H. Doi,
N. Ito,
T. Moriya,
1998
.
H. Matsumoto,
S. Suib,
Y. Hayashi,
2000
.
Tsuyoshi Moriya,
Hiroshi Doi,
Fumihiko Uesugi,
1998
.
H. Matsumoto,
M. Hiramatsu,
S. Suib,
1999
.
Guanguang Xia,
H. Matsumoto,
S. Suib,
2001
.