R. Droste
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Fred de Jong,
Bert van der Pasch,
Tom Castenmiller,
2009,
Advanced Lithography.
J. Noble,
A. Papageorghiou,
R. Droste,
2019,
IPMI.
Guido Schiffelers,
Judon Stoeldraijer,
Hans Meiling,
2013,
Advanced Lithography.