Uwe Dersch
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Christian Holfeld,
Eric Cotte,
Uwe Dersch,
2004,
SPIE Photomask Technology.
Frank Schmidt,
Jan Pomplun,
Christian Laubis,
2007,
SPIE Optical Metrology.
Jan Richter,
Uwe Dersch,
Roman Liebe,
2006,
SPIE Advanced Lithography.
Frank Schmidt,
Jan Pomplun,
Christian Laubis,
2007,
SPIE Optical Metrology.
Christian Chovino,
Joerg Butschke,
Mathias Irmscher,
2006,
SPIE Photomask Technology.
Christian Holfeld,
Eric Cotte,
Uwe Dersch,
2005,
Photomask Japan.
Harald Bosse,
Joerg Butschke,
Wolfgang Haessler-Grohne,
2005,
SPIE Advanced Lithography.
Holger Sailer,
Joerg Butschke,
Mathias Irmscher,
2005,
SPIE Photomask Technology.