T. Kato

发表

M. Sirk, P. Beiersdorfer, M. Hurwitz, 2008 .

S. Hayakawa, Yasuo Tanaka, F. Nagase, 1973 .

R. More, G. Faussurier, S. Libby, 2001 .

S. Nakazaki, T. Kato, T. Hashino, 1987 .

Hiroaki Nishimura, Yoshinori Shimada, Keiji Nagai, 2008, SPIE Advanced Lithography.

S. Morita, H. Sakaue, I. Skobelev, 2011 .

K. Kawahata, S. Murakami, Y. Igitkhanov, 2007 .