文
论文分享
演练场
杂货铺
论文推荐
字
编辑器下载
登录
注册
Taji Tomoya
发表
Sublithographic Patterning of Spin-Coated SiARC Films Using Tilted Ion Implantation
T. Liu, D. Connelly, L. Rubin, 2020, IEEE Transactions on Electron Devices.