K. Dhima
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H. Scheer,
S. Wang,
M. Papenheim,
2014,
Microsystem Technologies.
A. Mayer,
H. Scheer,
Si Wang,
2015
.
Andre Mayer,
Hella-Christin Scheer,
Si Wang,
2014
.
K. Zimmer,
J. Zajadacz,
H. Scheer,
2012
.
A. Mayer,
H. Scheer,
Si Wang,
2013
.
M. Ehrhardt,
P. Lorenz,
K. Zimmer,
2013
.
K. Zimmer,
J. Zajadacz,
H. Scheer,
2014
.
A. Mayer,
H. Scheer,
Si Wang,
2013
.
K. Zimmer,
J. Zajadacz,
A. Mayer,
2014
.
A. Mayer,
H. Scheer,
S. Wang,
2013,
Microsystem Technologies.
Christian Steinberg,
H. Scheer,
Si Wang,
2015
.
Y. Hirai,
J. Sakamoto,
H. Kawata,
2012
.
Christian Steinberg,
H. Scheer,
Si Wang,
2015
.
P. Görrn,
H. Scheer,
Si Wang,
2015
.
Andre Mayer,
Saskia Möllenbeck,
Hella-Christin Scheer,
2012,
European Mask and Lithography Conference.
A. Mayer,
H. Scheer,
Si Wang,
2011
.
A. Mayer,
H. Scheer,
Si Wang,
2014
.
A. Mayer,
H. Scheer,
N. Bogdanski,
2010
.
H. Scheer,
Si Wang,
M. Papenheim,
2015
.
A. Mayer,
H. Scheer,
S. Möllenbeck,
2010
.