L. Richter
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J. Schultes,
H. Dutz,
M. Urban,
2022,
2212.12364.
J. Schultes,
H. Dutz,
B. Krusche,
2022,
2212.12364.
Lee J. Richter,
Thomas B. Lucatorto,
Shannon B. Hill,
2010,
Advanced Lithography.