G. Hergenhan
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J. Ringling,
U. Stamm,
J. Kleinschmidt,
2005,
SPIE Advanced Lithography.
J. Ringling,
U. Stamm,
J. Kleinschmidt,
2005,
SPIE Advanced Lithography.
U. Stamm,
J. Kleinschmidt,
G. Hergenhan,
2006,
SPIE Advanced Lithography.