정준필

체적 탄성파 공진기의 하부 전극이 압전 박막의 배향성 및 공진기의 압전 특성에 미치는 영향

이명호, 박진석, 이진복, 2002 .

다양한 증착변수에 따른 AIN 박막의 물성 및 SAW 소자의 특성 분석

이명호, 박진석, 이진복, 2002 .