MEMS CAD系统 IMEE的研究和开发

IMEE是一个自主研发的MEMS CAD 系统,它包括节结点化的系统设计功能、工艺编辑、设计和三维模拟功能、参数化版图单元的版图设计功能等.该系统的最大特点是以工艺为主线,贯穿整个设计过程,重点解决MEMS设计与工艺脱节的问题,实现MEMS工艺设计和在线模拟.另外,该系统是跨平台的,即适用于UNIX也适用于WINDOWS操作系统,对其他MEMS CAD软件具有很好的兼容性,还支持用户自主扩展其他功能模块.