A method for implementing a variable based on the illumination pupil consisting of a micromirror array

本发明提供一种基于微反射镜阵列实现可变自由照明光瞳的方法，包括光斑位置测量，光斑位置优化，光斑位置校正等步骤。 其中，CCD相机测量每个微反射镜单元处于静态时反射光斑的位置参数；将上述参数代入网格搜索蚁群算法中优化，得到产生所需光瞳形貌的微反射镜阵列旋转角度矩阵；计算加载旋转角度矩阵后目标面上测量光强分布与所需光强分布的光斑位置差异，将其作为反馈校正优化所得的微反射镜阵列旋转角度，使结果最终满足目标面上照明需求。 本发明可实现如非圆周对称的复杂照明光瞳在内的多种照明模式，优化速度快，收敛性好，准确性高，具有较强的实用性。