Nagy megbízhatóságú integrált mikro- és nanorendszerek új tesztelési és vizsgálati módszerei, különös tekintettel az ambient intelligence kihívásaira = New design verification and examination principles and methods for high reliability integrated micro-nano-systems with special attention to the chal

A kutatas eredmenyeit mintegy 15 uj publikacioban fejtettuk ki reszletesen. Az elert eredmenyekben a kovetkezőkben foglalhatok ossze: - Kutato es fejlesztő munkat vegeztunk energiaforrassal egybeintegralt erzekelők fejlesztese teruleten. - Kutato es fejlesztő munkakat vegeztunk MEMS strukturakba epithető tesztelő es ontesztelő strukturak kifejlesztesere. Ezt a munkat a PATENT kivalosagi halozat nemzetkozi projekt kereteben kulonboző ad-hoc konzorciumokatban nemzetkozi kooperacioban vegeztuk. - Jelentős lepest ertunk el a MEMS tokozasok megbizhatosagi vizsgalataban a termikus tranziens meresi modszer alkalmazasaval. A kifejlesztett modszer tobb nemzetkozi publikacioban mutattuk be es a munka eredmenyeiből PhD disszertacio is keszult. - Igen jelentős eredmenyeket ertunk el a termikus anyagparameterek pontosabb meghatarozasa teruleten. A temaval foglalkozo publikacionkat az IEEE CPMT Best Paper dij adomanyozasaval ertekelte. - Jelentős eredmenyeket ertunk el a mikrocsatornas hűtőszerkezetek hűtesi tulajdonsagainak minősitese teruleten. Az elert eredmenyeket 5 kulonboző nemzetkozi kooperacioban keszult cikkben mutattuk be. | The research results are presented in detail in about 15 new publications. The achieved results can be summarized as follows: - Research and development work was accomplished in order to realize energy sources and sensors on the same chip. - Research and development work was carried out in order to develop new test and self test structures for the characterizations of MEMS systems. This work was done in the Framework of the PATENT Network of Excellence in different ad-hoc consortia. - Significant results were achieved in the field of reliability testing methods of MEMS packaging and MEMS etching with the help of the application of thermal transient testing. The newly developed methodology was presented in several international publications and it forms the basis of one PhD Thesis work. - Significant results have been achieved in the more accurate measurement of thermal material parameters. A publication dealing with this subject was given the IEEE CPMT Best Paper Award in 2006. - Significant results have been achieved in the qualification of the cooling properties of microchannel coolers. The results have been presented in 5 papers made in international cooperation.