클린룸용 클린 로보트의 발진 특성 및 주변기류성상에 관한 실험적 연구 ( Experimental Study on Characteristics of Dust Generation of Clean Robot and Airflow around Clean Robot )

본 연구에서는 클린룸용으로 개발되어 로봇 자체발진을 억제하기 위해 로봇 팔내부 공기의 배기 및 관절부 의 공극 감소 등의 청정화수법을 도입한 반송형 중형다관절 로봇에 관해 다음 항목들을 실험에 의해 검토했 다. 1)청정화장치를 사용하기 전후의 관절부 발진량을 측정해서 관절부 개선도의 검토. 2)로봇 동작시의 진애의 확산범위와 주변풍속, 기류성상에 미치는 영향을 분진, 농도, 풍속, 난류강도 및 기 류의 가시화를 이용하여 검토 3)로봇 관절부에 청정화수법 도입시 클린룸내의 작업에 필요한 청정도의 유지상태를 발진량 측정에 의해 검 토 실험의 결과로 다음 사항들이 파악되었다. 1)로봇 관절에 청정화수법 도입후, 입경 0.3 넘는 분진의 각 관절로부터 총발생량은 청정화수법을 도입하기 전보다 현저히 감소했다. 2)청정화수법을 도입한 상태에서는, 입경 0.3 의 분진에 대해 클린룸의 청정도 클래스 10에 적합한 성능을 보유하고 있다는 것을 파악했다. 3)기류의 난류역에 의한 다른 장소로부터의 분진유인을 피하기 위해 로봇 형상에 개량의 여지가 있다는 것을 알았다.