Fundamentals and limitations of large area planar microwave discharges using slotted waveguides

Ce papier discute des concepts de base de l'excitation d'un plasma a partir d'un guide d'ondes a fentes qui, techniquement, peut s'averer tres utile pour l'obtention de plasmas tres longs et de grande surface. Les resultats des differentes experiences visant aux details de la structure qui sont presentes sont ceux d'une version amelioree qui permet de reduire aux mieux les effets limitant l'homogeneite du plasma Ces resultats demontrent l'influence residuelle des couplages locaux discrets sur les ecarts forts qu'on peut attendre entre distributions de champs appliques et de champs locaux.