Interferometer for testing aspheric surfaces with computer-generated holograms.

HI-2の仕様一覧表を表1に示す.CGHを用いた干渉法は,波面の変換機能というホログラムの特徴を用いた測定法である.原理自体はよく知られていたこの方法が,近年再び脚光を浴びている理由としては,非球面光学素子の急速な利用拡大と共に電子線描画技術の発達があげられる.本干渉法は測定する非球面ごとにCGHを作製しなければならないものの現在のところ最も高精度な干渉法であり,電子線描画装置やレーザ描画装置の更なる発展により今後より広く利用されていくものと考えられる.