论文信息 - Key sub 1nm EOT CMOS enabler by comprehensive PMOS design - 字舞流文

Key sub 1nm EOT CMOS enabler by comprehensive PMOS design

T. Schram | C. Adelmann | V. Paraschiv | L. Ragnarsson | M. Aoulaiche | T. Hoffmann | T. Witters | P. Absil | S. Biesemans | A. Delabie | E. Rohr | C. Kerner | Y. Okuno | A. Akheyar | Z. Li | J. Tseng | K. Xiong | M. Mueller