A novel sample preparation technique for cross-sectional tem investigation of integrated circuits

Avec l'augmentation de la compacite du circuit integre les phenomenes qui se produisent au bord des couches prennent une grande importance. Dans la technologie CMOS un «bec d'oiseau» est forme au bord du masque en nitrure pendant l'oxydation. Il ne peut pas etre observe par microscopie optique (grossissement et resolution trop faibles) ni par microscopie electronique a balayage (faible contraste entre les couches constituees). La microscopie electronique par transmission est la technique ideale qui donne un fort grossissement avec un bon contraste