Two-axis actuator with large stage

본 발명은 대면적 스테이지를 구비한 2축 액츄에이터에 관하여 개시된다. 개시된 2축 액츄에이터는, 기판; 상기 기판 상에 고정된 대략 4각형상 변을 가지는 앵커부; 상기 앵커부 내의 양측에서 상기 기판으로부터 이격되어서 각각 서로 마주보는 제1방향으로 구동되는 제1구동부들; 상기 제1구동부들 사이에서 양측에서 서로 마주보는 방향으로 구동되는 제2구동부들; 상기 제2구동부들의 상부에 배치되어 상기 제2방향으로 구동되는 사각형상의 스테이지; 상기 스테이지 및 상기 앵커부로부터 소정거리 이격되며, 상기 각 제1구동부의 상부에서 그 양측에서 서로 마주보게 연장되어 하나의 몸체로 형성된 제3구동부; 상기 제1구동부가 상기 앵커부의 내면에 지지된 제1방향 변형 스프링부; 및 상기 제2구동부가 상기 제3구동부의 내면에 지지되도록 형성된 제2방향 변형 스프링부;를 구비한다. 이에 따르면, 스테이지를 구동부의 상부에 별도로 형성함으로써 구동장치 면적에 대해 스테이지 면적(저장면적)이 현저하게 증가되며, 또한 X 축 및 Y 축 이동시 축간 간섭이 없는 저장장치용 XY 스테이지 마이크로구동기가 된다.