Über Die Justierung Ebener Strukturen Mittels Moiré
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Die Justierung von ebenen Strukturen relativ zueinander kann an Hand von Moire-Interferenzstreifen vorgenommen werden. Moire's von linearen Gittern eignen sich als Justierkriterium fur den Drehungsfreiheitsgrad und die von Radialgittern fur die Translationsfreiheitsgrade. Als Justierkriterium wird das Verschwinden einer Differenz zweier Photowechselspannungen von zwei Detektoren am Rande des Gesichtsfeldes verwendet. Zum Erzeugen der Wechselspannung wird das Moire-Interferenzbild durch geeignete Mittel gewobbelt. Mit einem relativ groben Raster wurden in einer Testanordnung die prinzipielle Funktion und die Mesgenauigkeit untersucht.
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