论文信息 - Laser anneal of oxycarbosilane low-k film - 字舞流文

Laser anneal of oxycarbosilane low-k film

K. Vanstreels | J. Meersschaut | P. Van Der Voort | S. Armini | M. Baklanov | M. Redzheb | Y. Wang | S. Chen | V. Le | M. Awdshiew