The α and γ plasma modes in plasma-enhanced atomic layer deposition with O2–N2 capacitive discharges
暂无分享,去创建一个
T. Sajavaara | O. Nilsen | O. Tarvainen | J. Julin | K. Arstila | Ø. Fjellvåg | S. Kinnunen | M. Napari | K. Weibye
暂无分享,去创建一个
T. Sajavaara | O. Nilsen | O. Tarvainen | J. Julin | K. Arstila | Ø. Fjellvåg | S. Kinnunen | M. Napari | K. Weibye