Feedback‐Controlled X‐Ray diffraction topography

A feedback-controlled scanning X-ray diffraction topography system is described. The system is based on automated Bragg angle control (ABAC). ABAC maintains the operation of the topographic system at all times at the maximum X-ray intensity for exposing the photographic plate. The automatic control is accomplished by a continuous measurement of the angular derivative of the X-ray rocking curve. The measurement signal is applied to an automatic control system which orients the crystal for operation at the peak of the rocking curve at all times while scanning. A significant reduction in exposure time and background scattering is thus obtained. Picture sharpness is improved and the recording of entire topographs of warped crystal wafers is accomplished. Es wird ein Ruckkopplungs-gesteuertes Rontgenstrahlen-Beugungstopographie-Abtastsystem beschrieben. Das System beruht auf der Grundlage der automatischen Braggwinkelsteuerung (ABAC). ABAC halt den Arbeitsbereich des Topographiesystems fur die Belichtung der photographischen Platte zu jeder Zeit im Maximum der Rontgenstrahlenintensitat. Die automatische Steuerung wird erreicht durch eine kontinuierliche Messung der Winkelableitung der Rontgenstrahlreflexionskurve. Das Messignal wird an ein automatisches Steuerungssystem angelegt, das den Kristall fur die Untersuchung auf das Maximum der Reflexionskurve zu allen Zeiten wahrend des Abtastens orientiert. So wird eine bedeutende Herabsetzung der Belichtungszeit und der Untergrundstreuung erreicht. Die Bildscharfe wird gesteigert und die Aufnahme der gesamten Topographie von gewolbten Kristallplattchen erreicht.