PECVD ammonia-free SiN 막의 계면상태
暂无分享,去创建一个
[1] 이영희,et al. MAS(Metal-Al₂O₃-Si) 구조에 있어서 전기적 특성에 관한 연구 , 1987 .
[2] 황호정,et al. 경계요소법을 이용한 실리콘 내에서 2차원 불순물 분포의 산출 , 1987 .
暂无分享,去创建一个
[1] 이영희,et al. MAS(Metal-Al₂O₃-Si) 구조에 있어서 전기적 특성에 관한 연구 , 1987 .
[2] 황호정,et al. 경계요소법을 이용한 실리콘 내에서 2차원 불순물 분포의 산출 , 1987 .