Vibration Suppression Control for a Pneumatic Isolation Table with Three Degrees-of-Freedom Using On-Off Valves

空圧式除振台のアクティブ制御では,微小変位振動の抑制を目的とし,サーボ弁を用いて空気ばね内圧をアク ティブに変化させる研究がなされている .一方,大変位振動に対する高速な抑制とシステムの低コスト化へ の要求からサーボ弁に代えて 弁を用いたアクティブ制御も研究されている .しかしながら,これらの手 法は鉛直並進方向 軸のみの振動抑制を目的としている.一方,実応用では鉛直並進方向に加え,ロール回転方 向,ピッチ回転方向の計 2軸の振動抑制が問題となっている.2自由度系空圧式除振台を対象としたアクティブ制 御手法 も研究されているが,いずれもアクチュエータとして線形入力を前提としているため 弁による 量子化操作入力が混在するシステムに対しては良好な応答は期待できない.また, 弁を用いた 2自由度系 空圧式除振台に対して,高速に振動抑制した例は見られない.そこで,本稿では, 弁を用いた 2自由度系空 圧式除振台の振動抑制制御に焦点を当てる.量子化操作入力を考慮した 2軸振動抑制を考えた場合,文献 345で利 用しているフィードバック変調器を適用することも考えられる.しかし,2自由度系空圧式除振台は多入力系のた め,この手法を適用すると,パラメータ調整が複雑になる.また,文献 3 5で提案されている最適動的量子化器 On-Off 弁を用いた 3 自由度系空圧式除振台の振動抑制制御 小池 雅和,飯田 智晴,丸山 直人 千田 有一,池田 裕一 Vibration Suppression Control for a Pneumatic Isolation Table with Three Degrees-of-Freedom Using On-Off Valves Masakazu KOIKE, Tomoharu IIDA, Naoto MARUYAMA, Yuichi CHIDA and Yuichi IKEDA *1 Interdisciplinary Graduate Scholl of Science and Technology Shinshu University Wakasato 4-17-1, Nagano-shi, Nagano, Japan