반도체 장비 데이터 통신 네트워크의 성능평가에 관한 연구

반도체 산업에서 제조비용을 최소화하고 생산성과 수율을 보다 향상시키기 위해서는 새로운 공정기술의 개발뿐만 아니라 효과적인 장비 운영․관리기술의 개발과 적용이 필요하다(박유진과 황하란, 2013). 따라서 모든 반도체 관련 업체들은 보다 효율적으로 반도체 생산장비를 운영하고 관리하기 위해 다양한 활동을 지속적으로 수행하고 있다. 효율적인...