Analyse des procédés technologiques appliqués à une structure classique à l’aide du logiciel Titan

RésuméLes auteurs présentent un sujet de travaux pratiques destiné à des étudiants de formations très diverses : étudiants en dernière année d’Ecole d’Ingénieur, DESS etDEA. Le sujet fait partie d’une série de travaux pratiques consacrée aux procédés de fabrication des circuits intégrés et plus particulièrement, ici, à leur simulation à l’aide du logiciel Titan 4 implanté sur stations de travail Sun 3 (le parc de stations de travail et le logiciel sont des moyensCNFM). Le logiciel Titan a été développé par leCNET Meylan ; il simule les étapes technologiques classiques telles que les recuits, épitaxie, dépôts, gravure et implantation ionique.AbstractWe propose materials for practical sessions suitable for students in last year of engineering school and concerning silicon technology. Students learn and use the simulation software Titan designed by theCNET Meylan. Titan deals with process modeling and is able to simulate the main steps in the fabrication of part of integrated circuit as commonly encountered inVSLI design. Titan runs on Sun 3 work stations provided by theCNFM and installed at theCIMIRLY.