Structural and morphological properties of TiO2thin films prepared by spray pyrolysis

EN EL PRESENTE TRABAJO LA TECNICA DE ROCIO PIROLITICO FUE EMPLEADA PARA PRODUCIR PELICULAS DELGADAS DE TIO2 SOBRE SUBSTRATOS DE CUARZO Y SILICIO CRISTALINO (SI). GENERADO POR ULTRASONIDO, UN AEROSOL DE DI-ISOPROPOXIDO DE TITANIO FUE USADO COMO PRECURSOR EN LOS DEPOSITOS. EL PROCESO DE CRISTALIZACION COMO FUNCION DE LOS PARAMETROS DE DEPOSITO FUE ESTUDIADO POR DIFRACCION DE RAYOS-X (XRD), ESPECTROSCOPIA RAMA (RS), MICROSCOPIA DE FUERZA ATOMICA (AFM) Y ESPECTROSCOPIA OPTICA DE TRANSMISION (TS). LOS RESULTADOS DEMUESTRAN QUE LA TECNICA DE ROCIO PIROLITICO PUEDE PRODUCIR PELICULAS CON SUPERFICIES PLANAS Y BUENAS PROPIEDADES CRISTALINAS. CUANDO LA TEMPERATURA DE DEPOSITO ES MENOR A 400?C, LA PELICULA CRECE CON UNA SUPERFICIE SUAVE (RUGOSIDAD 5 A) PERO EN UNA FASE AMORFA; SIN EMBARGO A TEMPERATURAS IGUALES A 400?C O MAYORES LAS PELICULAS CRISTALIZAN EN LA FASE ANATASA AUN CUANDO LA RUGOSIDAD SE INCREMENTA HASTA UN VALOR QUE DEPENDE DEL ESPESOR. DESPUES DE UN TRATAMIENTO TERMICO A 750?C, LAS MUESTRAS DEPOSITADAS SOBRE SI MUESTRAN UNA TRANSICION PARCIAL A LA FASE RUTILIO DEL TIO2CON ORIENTACION PREFERENCIAL (111); SIN EMBARGO, LAS PELICULAS DEPOSITADAS SOBRE CUARZO NO MUESTRAN TAL TRANSICION. Abstract IN THE PRESENT WORK THE ULTRASONIC SPRAY PYROLYSIS TECHNIQUE WAS EMPLOYED TO PRODUCE TIO2 THIN FILMS ON FUSED QUARTZ AND ON SILICON SUBSTRATES. AN AEROSOL, GENERATED ULTRASONICALLY, OF TITANIUM DIISOPROPOXIDE WAS EMPLOYED IN THE DEPOSITION EXPERIMENTS. THE CRYSTALLIZATION PROCESS OF THE AS DEPOSITED SAMPLES WAS STUDIED BY X-RAY DIFRACTION (XRD), RAMAN SPECTROSCOPY (RS), ATOMIC FORCE MICROSCOPY (AFM), AND OPTICAL TRANSMISSION SPECTROSCOPIES (TS). THE RESULTS SHOW THAT SPRAY PYROLYSIS TECHNIQUE IS ABLE TO PRODUCE FILMS WITH SMOOTH SURFACE AND GOOD CRYSTALLINE PROPERTIES. WHEN DEPOSITION TEMPERATURES WERE BELOW 400—¦C, THE FILMS GROW WITH A FLAT SURFACE (ROUGHNESS 5 A) BUT IN AMORPHOUS PHASE; WHILE FOR EQUAL OR HIGHER VALUES TO THIS TEMPERATURE,