Hot-wire chemical vapor deposition of silicon nitride for multicrystalline silicon solar cells
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R. Schropp | B. Stannowski | J. Rath | A. Weeber | W. Arnoldbik | H. Goldbach | A. Kylner | W. Soppe | J. Loffler | C. V. D. van der Werf | H. Rieffe | A. Scarfo | C. van der Werf