Contactless split-gate flash memory of shared word line and manufacture method thereof

本发明提出的共享字线的无触点分栅式闪存及其制造方法，得到的闪存器件将两个存储位单元共享使用一个字线，通过对字线、第一位线和第二位线施加不同的工作电压实现对存储位单元的读取、编程和擦除，共享位线的结构使得分栅式闪存其能够在保持芯片的电学隔离性能不变的情况下，有效地缩小芯片的面积，同时也可以避免过擦除的问题。 同时采用无触点的设计，使得闪存器件具有尺寸小，工艺与CMOS传统工艺兼容的特点，有利于器件尺寸进一步缩小。